特許
J-GLOBAL ID：201403049362003100
感光性樹脂組成物、レジスト積層体及びそれらの硬化物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-256119
公開番号（公開出願番号）：特開2014-102466
出願日： 2012年11月22日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
要約：
【課題】フォトリソグラフィーで微細かつ垂直な側壁形状パターン形成が可能であり、硬化物は、低応力、耐湿熱性、高密着性に優れる特性を有する。特に、MEMSパッケージ、半導体パッケージ、マイクロリアクター形成部品に必要とされる特性を備えた永久レジストとしての感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)エポキシ樹脂、(B)ポリオール化合物、(C)光カチオン重合開始剤、(D)エポキシ基含有シラン化合物及び(E)反応性エポキシモノマーを含有する感光性樹脂組成物であって、(A)エポキシ樹脂が4核のフェノール誘導体と、エピハロヒドリンとの反応によって得られるエポキシ樹脂(a)及び下記式(2)で表されるエポキシ樹脂(b)であって、(E)反応性エポキシモノマー多価アルコールのポリグリシジルエーテルである感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)エポキシ樹脂、(B)ポリオール化合物、(C)光カチオン重合開始剤、(D)エポキシ基含有シラン化合物及び(E)反応性エポキシモノマーを含有する感光性樹脂組成物であって、
該(A)エポキシ樹脂が下記式(1)
IPC (6件)：
G03F 7/038
, G03F 7/004
, G03F 7/032
, G03F 7/075
, H05K 1/03
, C08G 59/62
G03F7/038 503
, G03F7/004 512
, G03F7/032 502
, G03F7/004 501
, G03F7/075 501
, H05K1/03 610L
, C08G59/62
2H125AE06P
, 2H125AE12P
, 2H125AE14P
, 2H125AE15P
, 2H125AF14P
, 2H125AF18P
, 2H125AF46P
, 2H125AF48P
, 2H125AM62P
, 2H125AM94P
, 2H125AN08P
, 2H125AN14P
, 2H125AN33P
, 2H125AN35P
, 2H125AN41P
, 2H125BA01P
, 2H125BA02P
, 2H125BA05P
, 2H125CA11
, 2H125CA12
, 2H125CA30
, 2H125CB06
, 2H125CC01
, 2H125CC12
, 2H125FA05
, 4J036AA05
, 4J036AB02
, 4J036AD08
, 4J036AJ21
, 4J036DA04
, 4J036DB05
, 4J036DB23
, 4J036FB11
, 4J036GA03
, 4J036GA22
, 4J036GA24
, 4J036GA26
, 4J036HA02
, 4J036JA05
, 4J036JA08
, 4J036JA15
