特許

J-GLOBAL ID：201403050196274270

回転式ホイルトラップ及びこのホイルトラップを用いた光源装置

発明者： シャーフ ミヒャエル ,  アペッツ ロルフ テオ アントン ,  ロゥース ニールス ,  エッセァー トルステン ,  チャオ ハオ チェ
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-068658
公開番号（公開出願番号）：特開2014-192112
出願日： 2013年03月28日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
要約：

【課題】共振が発生しても、ホイルの振動等を抑制できるようにするとともに、各ホイルに付着したデブリがホイルトラップに滞留しないようにすること。【解決手段】回転式ホイルトラップ4の周縁部であって各ホイル4aの長手方向の辺と接する部分に、各ホイル4a同士を相互に固定する円環形状の外側リング6A,6Bを取り付ける。外側リング6A,6Bは、EUV集光鏡による集光範囲(集光角)外になるように設けられ、外側リング6A,6Bの平面方向は、ホイルトラップ4の回転軸に対してほぼ垂直方向となるように設定される。これにより、共振を起こす回転数に到達したとき発生する共振による複数枚のホイル4aの振動等を抑制することができ、また、外側リング6a,6bの平面方向は、ホイルトラップ4の回転軸に対してほぼ垂直方向となるように設定されるので、各ホイル4aに付着したデブリはホイルトラップ4に滞留することがない。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

プラズマと、該プラズマから放射される光を集光する集光ミラーの間に配置され、主軸から放射状に伸びる複数のホイルを備え、上記光は通過するが上記プラズマからのデブリは捕捉するホイルトラップであって、 上記複数のホイルは、主軸上に配置された中心支柱により支持されていて、上記中心支柱と連結した回転機構により上記中心支柱を回転軸として回転可能に構成されている回転式ホイルトラップにおいて、 各ホイルの周縁部であって各ホイルの長手方向の辺と接する部分に、各ホイル同士を相互に固定する円環形状の外側リングが設けられ、 当該外側リングの平面方向は回転軸に対してほぼ垂直方向になるように設定されていて、当該外側リングはプラズマと集光ミラーから定まる当該集光ミラーによる集光範囲外に設けられている ことを特徴とする回転式ホイルトラップ。

IPC (2件)：

H05G 2/00 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H05G1/00 K ,  H01L21/30 531Z

Fターム (7件)：

4C092AA06 ,  4C092AB19 ,  4C092AC09 ,  4C092BD20 ,  5F146GA28 ,  5F146GC05 ,  5F146GC14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• リソグラフィ装置、放射システム、デバイス製造方法およびデブリ軽減方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2011-541241   出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
• 極端紫外光光源装置及びその調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-020690   出願人：株式会社東芝
• 放射源と放射源からの放射を処理する処理機構とを含む遠紫外線リソグラフィに適した装置、ならびに放射源から放射された望ましくない原子および微小粒子を抑制するためのフィルタ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-532779   出願人：スティクティング・ヴーア・デ・テクニシェ・ウェッテンシャペン