特許
J-GLOBAL ID：201403051756109668
転写装置および被成形体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 高橋 俊一
, 伊藤 正和
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-199214
公開番号（公開出願番号）：特開2014-054735
出願日： 2012年09月11日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：
【課題】シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写装置において、モールドの取り付けが若干曲がってなされていても、転写の精度が悪化することを防止する。【解決手段】シート状のモールドMの一端部を保持する第1の保持部3と、シート状のモールドMの他端部を保持する第2の保持部5と、各保持部3,5で保持しているモールドMに引張り力を付与する引張り力付与部7と、引張り力付与部7で引張り力が付与されているモールドMに皺が生成されることを防止するために、第1の保持部3に対する第2の保持部5の姿勢を調整する姿勢調整部9とを有する転写装置1である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写装置において、
前記シート状のモールドの一端部を保持する第1の保持部と、
前記シート状のモールドの他端部を保持する第2の保持部と、
前記各保持部で保持しているモールドに引張り力を付与する引張り力付与部と、
前記引張り力付与部で引張り力が付与されているモールドに皺が生成されることを防止するために、前記第1の保持部に対する前記第2の保持部の姿勢を調整する姿勢調整部と、
を有することを特徴とする転写装置。
IPC (3件)：
B29C 59/02
, B29C 43/00
, H01L 21/027
B29C59/02 Z
, B29C43/00
, H01L21/30 502D
4F204AF01
, 4F204AG01
, 4F204AG05
, 4F204AM32
, 4F204FA01
, 4F204FB01
, 4F204FF50
, 4F204FJ14
, 4F204FN06
, 4F204FN11
, 4F209AF01
, 4F209AG01
, 4F209AG05
, 4F209AM32
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN06
, 4F209PQ11
, 4F209PQ16
, 4F209PQ20
, 5F146AA31
