液処理装置、洗浄用治具および洗浄方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：勝沼宏仁 , 永井浩之 , 磯貝克臣 , 森秀行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-025841
公開番号（公開出願番号）：特開2014-033178
出願日： 2013年02月13日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
要約：

【課題】カップおよびその周囲部材をまんべんなく洗浄することができる洗浄方法を提供する。【解決手段】洗浄用治具(80)を基板保持部(52)により保持して回転させ、洗浄用治具の上方から洗浄用治具に洗浄液を供給する。洗浄用治具に供給された洗浄液は、洗浄用治具の外周縁の近傍において洗浄用治具の全周にわたって設けられた傾斜部(82)の傾斜面に沿って斜め上方に飛散し、これによりカップ(60,62)が洗浄される。これと同時に洗浄用治具の上方から供給された洗浄液の一部を、洗浄用治具に設けられた貫通穴(89)を介して洗浄用治具の下方に導き、洗浄用治具の下方にある部材(52)を洗浄する。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

基板を処理液で処理するための液処理装置であって、基板を水平に保持する基板保持部と、前記基板保持部を回転させる基板回転機構と、前記基板保持部に保持された基板を囲い、基板に供給した後の処理液を受けるカップと、少なくとも前記カップを洗浄するための円板状の洗浄用治具を収納する洗浄用治具収納部と、前記基板保持部の上方に位置し、洗浄液を供給する洗浄液供給部と、を備え、前記洗浄液供給部は、前記洗浄用治具が前記基板保持部により保持されたときに洗浄液が供給される上面において、前記洗浄用治具の外周縁の近傍に、前記洗浄用治具の径方向外方に向かって斜め上方に傾斜した傾斜部が全周にわたって設けられており、かつ、前記上面の中央部分に、前記上面に供給された洗浄液を前記洗浄用治具を通過させて前記洗浄用治具の下方に案内する貫通穴が設けられている前記洗浄用治具に洗浄液を供給する、液処理装置。

IPC (1件)：

H01L 21/304

FI (1件)：

H01L21/304 643Z

Fターム (6件)：

5F157AB02 , 5F157AB34 , 5F157AB90 , 5F157CC11 , 5F157CF93 , 5F157DC90

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-322420
基板処理装置および基板処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-124104 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開平1-218662

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