特許

J-GLOBAL ID：201403056387061208

静電容量検出装置

発明者： 野口 隆男 ,  和田 健 ,  遠池 健一 ,  海野 健 ,  海野 晶裕 ,  青柳 岳 ,  名取 宏文
出願人/特許権者： TDK株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-139047
公開番号（公開出願番号）：特開2014-002110
出願日： 2012年06月20日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
要約：

【課題】狭い空隙を備え、静電容量のばらつきが小さく、且つ、静電容量出力のばらつきの小さい、静電容量形成部を有する静電容量検出装置を提供する。【解決手段】固定電極11と、可動電極10の間の距離である空隙が、一部が除去された少なくとも第2の電極膜18の厚みで正確に設定でき、狭い間隔で一定に形成できる、静電容量、および、センサ特性の安定性に優れた静電容量検出装置。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

静電容量の変化を用いて物理量を検出するための静電容量形成部を備えた静電容量検出装置であって、 前記静電容量形成部は、第1の基板と、第2の基板を備えており、前記第1の基板上には、一方の主面に形成された第1の電極膜と、第2の電極膜、および、前記第1の電極膜と前記第2の電極膜の間に形成された圧電体膜を有しており、 前記第2の基板上には、一方の主面に形成された第3の電極膜を有しており、 前記第1の基板と、前記第2の基板は、お互いの電極面が対向した部分で接合されており、前記第1の電極膜の一部と、前記第3の電極膜の一部が、物理量の入力に対して相対的に変位可能となるように前記第2の電極膜が除去されていることを特徴とする静電容量検出装置。

IPC (9件)：

G01C 19/562 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  B81B 3/00

FI (11件)：

G01C19/56 121 ,  G01P15/125 Z ,  G01C19/56 128 ,  H01L29/84 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  B81B3/00

Fターム (37件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB04 ,  2F105BB13 ,  2F105BB17 ,  2F105CC01 ,  2F105CC11 ,  2F105CD03 ,  2F105CD06 ,  3C081AA01 ,  3C081BA30 ,  3C081BA43 ,  3C081BA48 ,  3C081BA76 ,  3C081CA14 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA23 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA07 ,  4M112DA15 ,  4M112DA16 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA11 ,  4M112EA12 ,  4M112EA13 ,  4M112EA18 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 半導体慣性センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-072957   出願人：三菱マテリアル株式会社