特許
J-GLOBAL ID:201403060148333015

電子部品載置ステージ、位置決め装置、及び工程処理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木内 光春
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-548646
特許番号:特許第5561750号
出願日: 2012年01月20日
請求項(抜粋):
【請求項1】 電子部品が載置される電子部品載置ステージであって、 前記電子部品の載置台と、 前記載置台がおもて面の中央領域に取り付けられ、前記電子部品の当該載置台への当接圧力を吸収するように沈み込み可能な圧力吸収部となる縁が固定された板バネと、 前記板バネの裏面に取り付けられ、前記板バネの下方に延びるシャフトと、 前記シャフトを支持するスプリングと、 を備え、 前記板バネは、その平面部分が前記当接圧力によって撓み、 前記スプリングは、 前記電子部品が前記載置台に当接していない状態での前記板バネの沈み込みを押し戻すように付勢すること、 を特徴とする電子部品載置ステージ。
IPC (5件):
B23P 19/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/52 ( 200 6.01) ,  H05K 13/02 ( 200 6.01) ,  H01L 21/60 ( 200 6.01) ,  H01L 21/68 ( 200 6.01)
FI (5件):
B23P 19/00 301 D ,  H01L 21/52 F ,  H05K 13/02 R ,  H01L 21/60 301 K ,  H01L 21/68 K
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平3-221310
  • 撮像ユニット組立装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-127243   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • 特開昭61-226285
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