特許
J-GLOBAL ID：201403060573086609
試料ホルダおよび電子顕微鏡像の観察方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大野 聖二
, 片山 健一
, 鈴木 守
, 加藤 真司
, 津田 理
, 津田 理
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-162925
公開番号（公開出願番号）：特開2014-022323
出願日： 2012年07月23日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
要約：
【課題】生物試料を染色等することなく、極めて簡便に且つ大気圧下で、高分解能・高コントラストの電子顕微鏡観察を可能とすること。【解決手段】試料ホルダ20の上部本体21の内部には、絶縁性薄膜11と2次電子放射防止薄膜12の積層体が設けられており、電子銃40から射出された電子線41は2次電子放射防止薄膜側から入射する。絶縁性薄膜11の下面は試料付着面であり、観察対象となる試料30が吸着等により保持されている。2次電子放射防止薄膜12は2次電子放出係数δが小さい材質から成り、好ましくは非絶縁性である。つまり、2次電子放射防止薄膜12は電気的抵抗が高いながらも導電性を有しているため、電子線照射部位の帯電レベルは低くなる。その結果、電子線照射による帯電効果は低減し、2次電子放射防止薄膜12の表層で発生した2次電子が膜外へと放射され難くなり、2次電子放出に起因する画像のコントラスト低下が抑制される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡像の観察に用いられる試料ホルダであって、
2次電子放出係数δが小さい2次電子放射防止薄膜側を電子線入射面とし絶縁性薄膜側を試料付着面とする2次電子放射防止薄膜と絶縁性薄膜の積層体と、前記絶縁性薄膜に対向し且つ離間して設けられた導電性薄膜とを備え、
前記導電性薄膜の電位は、電子顕微鏡のグランド電位と同電位若しくはプラス電位に制御可能である、
ことを特徴とする試料ホルダ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5C001AA01
, 5C001BB03
, 5C001BB07
, 5C001CC04
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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