特許
J-GLOBAL ID：201403061520901366
フェムト秒レーザー加工機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中谷 武嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-189674
公開番号（公開出願番号）：特開2014-004631
出願日： 2013年09月12日
公開日（公表日）： 2014年01月16日
要約：
【課題】フェムト秒レーザーを用いる加工において、汎用省力化の加工方法に関する作業時間当りの照射の加工面積拡大化を計り所要時間の短縮を計ることが可能なフェムト秒レーザー加工機を提供する。【解決手段】フェムト秒レーザー発振器19から発振された光源ビーム21を、主光軸ビーム1及び光路長が相互相違する複数の分岐ビーム2,3に分流すると共に、主光軸ビーム1及び分岐ビーム2,3を回帰集光させた統合ビーム4を、集光レンズ7に導くようにして、複数の分岐ビーム2,3の光路長の相違により照射時におけるタイムラグを発生させ、統合ビーム4の光軸中心に対して集光レンズ7のレンズ中心位置を偏心させると共に、集光レンズ7を統合ビーム4の光軸中心周りに回転させ、さらに、加工対象となるワーク41を移動させて、ワーク41を連続照射することにより、照射軌跡をワーク41の被加工平面に沿って水平移動させた水平スパイラル形状に形成させると共に、円弧状に照射焦点面積を拡大させる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
フェムト秒レーザー発振器(19)から発振された光源ビーム(21)を、主光軸ビーム(1)及び光路長が相互相違する複数の分岐ビーム(2)(3)に分流すると共に、該主光軸ビーム(1)及び分岐ビーム(2)(3)を回帰集光させた統合ビーム(4)を、集光レンズ(7)に導くようにして、上記複数の分岐ビーム(2)(3)の光路長の相違により照射時におけるタイムラグを発生させ、
上記統合ビーム(4)の光軸中心(201)に対して上記集光レンズ(7)のレンズ中心位置(202)を偏心させると共に、上記集光レンズ(7)を上記統合ビーム(4)の光軸中心(201)周りに回転させ、さらに、加工対象となるワーク(41)を移動させて、該ワーク(41)を連続照射することにより、照射軌跡を該ワーク(41)の被加工平面に沿って水平移動させた水平スパイラル形状に形成させると共に、円弧状に照射焦点面積を拡大させることを特徴とするフェムト秒レーザー加工機。
IPC (3件)：
B23K 26/082
, B23K 26/067
, B23K 26/08
B23K26/08 B
, B23K26/067
, B23K26/08 D
4E068CA03
, 4E068CA11
, 4E068CD04
, 4E068CD13
, 4E068CE03
, 4E068CE04
