特許
J-GLOBAL ID：201403061537229645

酸化アルミニウムベースの金属配線バリア

発明者：
ケーラー,インゴ

ケーラー,インゴ について

, 
ドル,オリバー

ドル,オリバー について

, 
ストックム,ヴェルナー

ストックム,ヴェルナー について

, 
バース,セバスチャン

バース,セバスチャン について


出願人/特許権者：
メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング について


代理人 (1件)： 葛和 清司
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-556984
公開番号（公開出願番号）：特表2014-516467
出願日： 2012年02月09日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
要約：
本発明は、下部ウエハ層のための、アルミニウムおよび他の金属に対する拡散バリアの役割を同時に果たす、酸化アルミニウムベースの不動態化層に関する。さらに、これらの層を製造するための方法および好適な組成物を記載する。
請求項（抜粋）：
不動態化層と、アルミニウムおよび/または他の関連金属ならびに金属ペーストに対する拡散バリアとの役割を果たす誘電体層の製造方法であって、インクもしくはペーストの形態での酸化アルミニウムゾルまたは酸化アルミニウムハイブリッドゾルを、表面全体にわたって、あるいは体系的に適用し、高温で加温することにより圧縮して乾燥させ、アモルファスAl2O3および/または酸化アルミニウムハイブリッドの層を形成させることを特徴とする、前記方法。
IPC (2件)：
H01L 21/316 ,  H01L 31/04
FI (3件)：
H01L21/316 G ,  H01L31/04 F ,  H01L21/316 B
Fターム (21件)：
5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BC04 ,  5F058BD05 ,  5F058BD06 ,  5F058BF46 ,  5F058BF47 ,  5F058BH05 ,  5F058BH07 ,  5F058BJ04 ,  5F151AA02 ,  5F151AA03 ,  5F151BA11 ,  5F151CB13 ,  5F151CB20 ,  5F151CB21 ,  5F151CB24 ,  5F151DA03 ,  5F151DA10 ,  5F151GA04 ,  5F151HA20
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM