廃液処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：川村恭子 , 佐々木功 , 久保健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-282585
公開番号（公開出願番号）：特開2014-124576
出願日： 2012年12月26日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
要約：

【課題】シリコン屑を含む廃液をシリコン屑とシリコン屑を含まない水とに分離する分離装置において、分離時間が経過しても、廃液を効率よくシリコン屑と水とに分離できるようにする。【解決手段】廃液処理装置1は、シリコン吸着板21からシリコン屑を分離した回数を各々のシリコン吸着板21ごとにカウントして記憶する分離回数記憶部322と、分離回数記憶部322に記憶された分離回数が所定の回数に達した否かを判断する判断部323と、判断部323が各々のシリコン吸着板21の分離回数が所定の回数に達したと判断した場合に報知を行う報知部324とを備えているため、分離回数が所定の回数に達したシリコン吸着板21については劣化したものと判断して液槽20から取り除くことが可能となり、シリコン屑を含む廃液を長期的に効率よくシリコン屑と浄水とに分離することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シリコン屑を含む廃液を、シリコン屑とシリコン屑を含まない浄水とに分離する廃液処理装置であって、廃液からシリコン屑とシリコン屑を含まない浄水とに分離する分離処理手段と、該分離処理手段によって分離されたシリコン屑を回収する回収手段と、から構成され、該分離処理手段は、該廃液を溜める液槽と、該液槽の中に等間隔に複数配設され該廃液中でマイナスに帯電したシリコン屑を吸着するためのプラスに帯電したシリコン吸着板と、該シリコン吸着板に対向して該シリコン吸着板と離間して交互に複数配設されマイナスに帯電した陰極板と、該陰極板の上部に配設され上澄み液体を該液槽外へ搬出する搬出部と、該シリコン吸着板を陽極とし該陰極板を陰極とし、該シリコン吸着板と該陰極板との間に電解を形成する電解形成部とを備え、該回収手段は、該シリコン吸着板からシリコン屑を分離させる分離部と、該シリコン吸着板を該分離処理手段の該液槽中から該分離部まで移動させる吸着板移動部と、該シリコン吸着板を管理する管理手段とを備え、該管理手段は、該シリコン吸着板に通電しシリコンを吸着している累積時間を各々のシリコン吸着板ごとにカウントする吸着時間カウント部と、該累積時間が所定時間を経過したシリコン吸着板を分離部へ移動させ該シリコン吸着板からシリコン屑を分離すべき旨の指令を出す指令部と、該分離部により該シリコン吸着板からシリコン屑を分離した回数を各々のシリコン吸着板ごとにカウントして記憶する分離回数記憶部と、該分離回数記憶部に記憶された分離回数が所定の回数に達した否かを判断する判断部とを備えており、該判断部が各々のシリコン吸着板の分離回数が所定の回数に達したと判断した場合に報知を行う報知部を備えることを特徴とする廃液処理装置。

IPC (3件)：

C02F 1/48 , B03C 5/02 , B01D 57/02

FI (3件)：

C02F1/48 B , B03C5/02 , B01D57/02

Fターム (18件)：

4D054FA08 , 4D054FB02 , 4D054FB11 , 4D054FB18 , 4D061DA08 , 4D061DB15 , 4D061DC18 , 4D061EA10 , 4D061EB02 , 4D061EB04 , 4D061EB20 , 4D061EB31 , 4D061EB37 , 4D061EB38 , 4D061EB39 , 4D061GA15 , 4D061GB30 , 4D061GC11

引用特許：

審査官引用 (2件)

分離装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-227852 出願人：株式会社ディスコ
空気清浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-190703 出願人：三菱電機株式会社

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