特許
J-GLOBAL ID:201203050610046647
分離装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-227852
公開番号(公開出願番号):特開2012-081385
出願日: 2010年10月07日
公開日(公表日): 2012年04月26日
要約:
【課題】シリコン屑を含む廃液を効率よく、再利用し易い状態でシリコン屑と水とに分離することができる分離装置を提供すること。【解決手段】水にシリコン屑が含まれる廃液を溜める液槽21と、この液槽21内に配置されたシリコン分離機構22と、を備え、シリコン分離機構22は、液槽21内に配置され廃液中でシリコン屑を吸着する吸着板25と、廃液中の水のみの通過を許容し、シリコン屑の通過を規制するシリコン通過規制手段26と、吸着板移動手段30と、分離部40とを備えている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
シリコン屑を含む廃液を、シリコン屑と、シリコン屑を含まない液体とに分離する分離装置であって、
該廃液を溜める液槽と、
該液槽の中に配置されたシリコン分離機構と、を有し、
該シリコン分離機構は、
該廃液中でマイナスに帯電した該シリコン屑を吸着するプラスに帯電した吸着板と、
該吸着板に対向して配設され、該廃液の液体のみの通過を許容し、マイナスに帯電した該シリコン屑の通過を規制するシリコン通過規制板を含むシリコン通過規制手段と、を有し、
該シリコン通過規制手段は、
該シリコン通過規制板を通過した液体が存在する領域を区画する筺体と、
該筺体内に配置され、該シリコン通過規制板を通過した該廃液を該液槽外へ搬出する搬出部と、を有し、
該吸着板を陽極とし、該シリコン通過規制板を陰極とし、該吸着板と該シリコン通過規制板との間に電界を形成する電界形成手段を有し、
該吸着板に吸着したシリコンを回収する回収機構を有し、
該回収機構は、
該吸着板を該廃液から移動させる吸着板移動手段と、
該吸着板からシリコンを分離させる分離部と、
を有することを特徴とする分離装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (4件):
4D054FA10
, 4D054FB02
, 4D054FB10
, 4D054FB18
引用特許:
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