特許
J-GLOBAL ID：201403062045472869

プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法

発明者：
岩井 哲博

岩井 哲博 について


出願人/特許権者：
パナソニック株式会社

パナソニック株式会社 について


代理人 (4件)： 田中 光雄 ,  鮫島 睦 ,  前田 厚司 ,  前堀 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-206909
公開番号（公開出願番号）：特開2014-063810
出願日： 2012年09月20日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
要約：
【課題】プラズマからの遮蔽のためのカバーの昇降機構を不要としたプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】ロードロック部4のカセット21には搬送キャリア13とカバー17が出し入れ可能に収納されている。搬送キャリア13は、基板14の保持シート15とフレーム16とを備える。搬送装置25の支持フォーク26は、搬送キャリア13とカバー17を、搬送キャリア13の上方にカバー17が位置する状態でカセット21から取り出し、プラズマ処理部2のステージ35に載置する。基板14のプラズマ処理中、フレーム16と保持シート15はカバー17によりプラズマから遮蔽される。プラズマ処理後、支持フォーク26は、搬送キャリア13とカバー17をステージ35から受け取り、カセット21に順に戻す。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対象物に対してプラズマ処理を実行するプラズマ処理部と、 前記対象物を保持した保持シートと、前記保持シートが取り付けられたフレームとを備える搬送キャリアを、出し入れ可能に収納した第1の収納部と、 前記保持シートと前記フレームとを覆うための本体と、前記本体に厚み方向に貫通するように形成された、前記対象物を露出させるための窓部とを備えるカバーを、出し入れ可能に収納した第2収納部と、 前記搬送キャリアと前記カバーとを、前記搬送キャリア上に前記カバーが位置するように保持して搬送可能な搬送装置と、 前記搬送装置を制御して、前記第1の収納部から前記対象物がプラズマ処理前である前記搬送キャリアを取り出させた後、前記取り出された搬送キャリア上に位置するように前記第2の収納部から前記カバーを取り出させ、前記搬送キャリアを前記カバーと共に前記プラズマ処理部へ搬入させ、かつ前記対象物がプラズマ処理済みとなった前記搬送キャリアを前記カバーと共に前記プラズマ処理部から搬出させ、前記第2の収納部に前記カバーを収納させた後、前記第1の収納部に前記搬送キャリアを収納させる制御装置と を備える、プラズマ処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/306 ,  H01L 21/677
FI (2件)：
H01L21/302 101G ,  H01L21/68 A
Fターム (28件)：
5F004BA04 ,  5F004BB22 ,  5F004BB23 ,  5F004BB25 ,  5F004BC05 ,  5F004BC06 ,  5F004CA06 ,  5F131AA02 ,  5F131BA19 ,  5F131CA38 ,  5F131DA07 ,  5F131DA13 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB52 ,  5F131DB76 ,  5F131EA03 ,  5F131EB11 ,  5F131EB72 ,  5F131EB82 ,  5F131EC32 ,  5F131EC44 ,  5F131GA03 ,  5F131JA09 ,  5F131JA12 ,  5F131JA23
引用特許：
出願人引用 (4件)
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