特許

J-GLOBAL ID：201403062155672677

圧力センサ

発明者： 緒方 逸平 ,  今野 光浩 ,  池沢 敏哉 ,  内ヶ島 寛 ,  江崎 隆博
出願人/特許権者： 株式会社日本自動車部品総合研究所 ,  株式会社デンソー
代理人 (1件)： 特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-258831
公開番号（公開出願番号）：特開2014-106095
出願日： 2012年11月27日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
要約：

【課題】接合ガラスおよびセンサチップに亀裂が発生したり、接合ガラスおよびセンサチップが破壊されたりすることを抑制できる圧力センサを提供する。【解決手段】圧力検出用のダイヤフラム11を有する金属ステム10と、ダイヤフラム11上に設けられた接合ガラス50と、ダイヤフラム11に接合ガラス50を介して接合され、ダイヤフラム11の歪みに応じたセンサ信号を出力するセンサチップ40と、を備える圧力センサにおいて、センサチップ40の厚さを50μm以上とし、接合ガラス50の厚さをT[μm]、接合ガラス50中に存在するボイド51の最大直径をR[μm]としたとき、1≦T/Rとする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

圧力検出用のダイヤフラム(11)を有する金属ステム(10)と、 前記ダイヤフラム上に設けられた接合ガラス(50)と、 前記ダイヤフラムに前記接合ガラスを介して接合され、前記ダイヤフラムの歪みに応じたセンサ信号を出力するセンサチップ(40)と、を備え、 前記センサチップの厚さは50μm以上とされており、 前記接合ガラスの厚さをT[μm]、前記接合ガラス中に存在するボイド(51)の最大直径をR[μm]としたとき、1≦T/Rであることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/00 ,  H01L 29/84 ,  H01L 21/52

FI (4件)：

G01L9/00 303L ,  H01L29/84 B ,  H01L29/84 A ,  H01L21/52 E

Fターム (25件)：

2F055AA39 ,  2F055BB16 ,  2F055CC02 ,  2F055CC11 ,  2F055DD01 ,  2F055DD04 ,  2F055EE14 ,  2F055FF01 ,  2F055GG13 ,  2F055GG14 ,  2F055HH03 ,  2F055HH05 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA09 ,  4M112CA11 ,  4M112CA15 ,  4M112EA13 ,  4M112FA07 ,  4M112FA08 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03 ,  5F047AA01 ,  5F047BA45

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 力学量検出装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-107856   出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所
• 圧力センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-180754   出願人：株式会社デンソー
• 特公平7-011461
  

審査官引用 (3件)

• 力学量検出装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-107856   出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所
• 圧力センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-180754   出願人：株式会社デンソー
• 特開昭62-294930