圧力センサの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-180754
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009569
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】金属ダイヤフラムの表面にシリコンチップをガラス層を介して接合してなる圧力センサにおいて、ガラス層に生じる気泡によってセンサ出力が影響を受けないようにする。【解決手段】金属製のセンシングボディ2におけるダイヤフラム2aの表面にシリコンチップ4をガラス層5を介して接合し、この接合後に、ガラス層5の気泡を検査する検査工程を設け、その検査結果が良好とされたセンシングボディ2についてハウジングへの組付けを行う。

請求項（抜粋）：

金属ダイヤフラムを有するセンシングボディの前記金属ダイヤフラムの上に、拡散ゲージが形成されたシリコンチップをガラス層を介して接合し、この接合後に、前記センシングボディをハウジングに組付けてなる圧力センサの製造方法において、前記接合後に前記ガラス層の気泡を検査する検査工程を設け、その検査結果が良好とされたセンシングボディについて前記ハウジングへの組付けを行うことを特徴とする圧力センサの製造方法。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84 A

Fターム (22件)：

2F055AA23 , 2F055BB16 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055FF01 , 2F055FF15 , 2F055GG01 , 2F055GG13 , 2F055HH01 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA02 , 4M112CA05 , 4M112CA09 , 4M112DA17 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA11 , 4M112EA13 , 4M112FA05 , 4M112GA01

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-028732
特開平3-096840
圧力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-038377 出願人：株式会社デンソー

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