特許
J-GLOBAL ID：201403063737641187
放射源
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-533814
公開番号（公開出願番号）：特表2014-534559
出願日： 2012年09月06日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
要約：
【課題】 従来技術の問題の少なくとも1つを除去または軽減する放射源を提供する。【解決手段】 リソグラフィ装置のイルミネータに放射ビームを提供するのに適した放射源である。この放射源は、燃料液滴の流れを軌道に沿ってプラズマ形成地点に向けて誘導するように構成されたノズルを備える。放射源は、使用に際して、第1の量の放射がプラズマ形成地点で燃料液滴に入射するべく、かつ、使用に際して、第1の量の放射が燃料液滴にエネルギを伝達して第2の量の放射を放出する放射生成プラズマを生成するべく、第1の量の放射を受けるように構成される。放射源はさらに、第1の量の放射の焦点位置を示す第1の量の放射の特性を測定するように構成された第1センサアレンジメントと、燃料液滴の位置を示す燃料液滴の特性を測定するように構成された第2センサアレンジメントと、を備える。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
リソグラフィ装置のイルミネータに放射ビームを提供するのに適した放射源であって、
燃料液滴の流れを軌道に沿ってプラズマ形成地点に向けて誘導するノズルを備え、
前記放射源は、使用に際して、第1の量の放射が前記プラズマ形成地点で燃料液滴に入射するように、かつ、使用に際して、前記第1の量の放射が前記燃料液滴にエネルギを伝達して第2の量の放射を放出する放射生成プラズマを生成するように、前記第1の量の放射を受け、
前記放射源は、
前記第1の量の放射の焦点位置を示す前記第1の量の放射の特性を測定する第1センサアレンジメントと、
前記燃料液滴の位置を示す燃料液滴の特性を測定する第2センサアレンジメントと、をさらに備える、
放射源。
IPC (3件)：
H05G 2/00
, H01L 21/027
, G03F 7/20
H05G2/00 K
, H01L21/30 531S
, G03F7/20 503
2H097CA15
, 4C092AA04
, 4C092AA15
, 4C092AB10
, 4C092AC09
, 4C092BD01
, 5F146GA21
, 5F146GC12
