特許
J-GLOBAL ID：201403064043219298
プローブ先端部材およびその使用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-059799
公開番号（公開出願番号）：特開2014-185889
出願日： 2013年03月22日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
要約：
【課題】大電流を使用する半導体デバイスの検査に用いるプローブ先端を改良する。特に通電時に温度上昇があっても正常に検査できるプローブ先端を得ること。【解決手段】同一平面状に複数の針状または錘状の先端を有するプローブ先端部材を、炭化タングステンと銀の複合材料にて形成する。炭化タングステンと銀の複合材料は、電気抵抗率が十分低く、高温環境下でも酸化などの化学変化を起こしにくく、熱により軟化や変形しにくく、耐摩耗性も十分に有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
AgとWCを主成分とする複合材料からなる半導体検査用プローブ先端部材。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2G011AA04
, 2G011AB00
, 2G011AE01
, 2G011AE22
, 2G011AF01
出願人引用 (15件)
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プローブ及びプローブの製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2006-038066
出願人：富士通株式会社
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特開昭56-088209
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断路接点装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-253368
出願人：株式会社東芝
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審査官引用 (22件)
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プローブ及びプローブの製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2006-038066
出願人：富士通株式会社
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特開昭56-088209
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特開昭56-088209
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断路接点装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-253368
出願人：株式会社東芝
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特開昭62-077439
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特開昭62-077439
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特公昭46-002735
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特公昭46-002735
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特開平1-249271
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特開平1-249271
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Ag-W/WC系焼結型電気接点材料およびその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-075428
出願人：日本科学冶金株式会社
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特開昭60-097517
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特開昭60-097517
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特開昭58-199681
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特開昭58-199681
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半導体素子測定用電極及びそれを用いた半導体素子の測定機
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-286396
出願人：星和電機株式会社
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パワーデバイスのテスト装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-118116
出願人：三菱電機株式会社
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半導体検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-204400
出願人：トヨタ自動車株式会社
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プローブカード装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-293347
出願人：松下電器産業株式会社
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電極とその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-032370
出願人：日本タングステン株式会社
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特開平1-169367
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特開平1-169367
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引用文献：
出願人引用 (1件)
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“電気接点材料<電気接点関連|日本タングステン株式会社”, 20090611
審査官引用 (1件)
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“電気接点材料<電気接点関連|日本タングステン株式会社”, 20090611
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