濃縮機能を有する水素ガスセンサとこれに用いる水素ガスセンサプローブ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工藤一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-109375
公開番号（公開出願番号）：特開2014-228447
出願日： 2013年05月23日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
要約：

【課題】小型で、大量生産性があり、安価で、水素ガスの選択性が高く、高感度かつ高精度の水素ガスセンサを提供する【解決手段】基板1から熱分離した薄膜10にヒータ25と温度センサ20および水素吸収材5とを有する水素ガスの濃縮部300と水素ガスセンサ素子500とを、同一のマイクロチャンバ100内に設ける。濃縮部300からヒータ加熱により放出させて高濃度化させた水素ガスを水素ガスセンサ素子500で計測する。水素吸収材5に水素ガスの選択性を持たせることにより、水素ガスセンサ素子500に水素ガス選択性を必要としない。マイクロチャンバ100の出入り口には気流制限部250を設けて、外部気体の流入による水素ガスの希薄化を防止している。被検出気体のマイクロチャンバ100への導入は、ポンプなどの導入手段150を用い、所定の周期で行うことができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検出水素ガスを含む外部気体(被検出気体)とチャンバ(100)とを結ぶ連通孔(200)には気流制限部(250)を備えてあること、前記チャンバ(100)内には水素ガスの濃縮部(300)と水素ガスセンサ素子(500)とを備えてあること、該濃縮部(300)には水素吸収材(5)とヒータ(25)および温度センサ(20)を有すること、被検出気体を前記チャンバ(100)内に導入するための導入手段(150)を備えてあること、該導入手段(150)により前記チャンバ(100)内に被検出気体を導入して、前記濃縮部(300)に水素を吸収させて、その後、前記濃縮部(300)に吸収された水素を前記ヒータ(25)で加熱して前記チャンバ(100)内に放出させ、前記気流制限部(250)を利用して該チャンバ(100)内の水素ガス濃度を濃縮できるようにしたこと、前記水素ガスセンサ素子(500)でチャンバ(100)内の濃縮された水素ガス濃度に係る情報を出力させ、予め用意してある校正データに基づいて、被検出気体中の水素ガス濃度を求めるようにしたこと、を特徴とする水素ガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (1件)：

G01N27/12 B

Fターム (10件)：

2G040AA02 , 2G040AB17 , 2G040BA23 , 2G040BB01 , 2G040CA01 , 2G040DA03 , 2G046AA05 , 2G046BB02 , 2G046BE03 , 2G046BG01

引用特許：

出願人引用 (2件)

呼気ガス分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-136865 出願人：松下電器産業株式会社
車両用始動制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-124871 出願人：本田技研工業株式会社, アルプス電気株式会社

審査官引用 (2件)

呼気ガス分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-136865 出願人：松下電器産業株式会社
車両用始動制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-124871 出願人：本田技研工業株式会社, アルプス電気株式会社

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