特許

J-GLOBAL ID：201403065560136315

ハロゲン化アルミニウムガスの製造方法

発明者： 岡山 玲子 ,  永島 徹
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-196898
公開番号（公開出願番号）：特開2014-051410
出願日： 2012年09月07日
公開日（公表日）： 2014年03月20日
要約：

【課題】一ハロゲン化アルミニウムガスの含有量が少ないハロゲン化アルミニウムガスの製造方法を提供する。【解決手段】ハロゲン系ガスとアルミニウムを接触させて、ハロゲン化アルミニウムガスを製造する方法において、ハロゲン系ガスと第一キャリアガスとをアルミニウムに接触させることでハロゲン化アルミニウムガスを製造し、アルミニウムと接触しないように供給した第二キャリアガスを、ハロゲン化アルミニウムガス及び第一キャリアガスと混合させて、該ハロゲン化アルミニウムガスを反応器の下流側から反応器外に排出する方法である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

アルミニウムを収容した収容部を備えた反応器の上流側からハロゲン系ガスを該収容部に供給することにより、該アルミニウムと該ハロゲン系ガスとを接触させてハロゲン化アルミニウムガスを製造する方法において、

IPC (5件)：

C01F 7/58 ,  C30B 29/38 ,  C30B 25/14 ,  C23C 16/34 ,  H01L 21/205

FI (5件)：

C01F7/58 ,  C30B29/38 C ,  C30B25/14 ,  C23C16/34 ,  H01L21/205

Fターム (27件)：

4G076AA06 ,  4G076AB04 ,  4G076AB18 ,  4G076BA10 ,  4G076BC09 ,  4G076BD10 ,  4G076BH01 ,  4G076CA40 ,  4G076DA30 ,  4G077AA03 ,  4G077BE13 ,  4G077DB05 ,  4G077EC03 ,  4G077EC10 ,  4G077HA12 ,  4G077TB03 ,  4G077TH01 ,  4G077TH06 ,  4K030AA02 ,  4K030AA17 ,  4K030BA02 ,  4K030BA38 ,  4K030BB02 ,  4K030LA14 ,  5F045AA01 ,  5F045AB09 ,  5F045AC03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 気相成長装置、III族窒化物半導体基板の製造方法、III族窒化物半導体基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-225055   出願人：古河機械金属株式会社
• 特開平2-230720
  
• 気相成長装置、化合物半導体膜及びその成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-230922   出願人：住友電気工業株式会社
• 窒化ガリウムテンプレート基板の製造方法及び窒化ガリウムテンプレート基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-051531   出願人：日立電線株式会社