特許
J-GLOBAL ID：201403065850461872
多層圧電デバイスの製造方法、助剤を含む多層圧電デバイス、および多層圧電デバイスの破壊応力抑制のための助剤の使用
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-522012
公開番号（公開出願番号）：特表2014-527712
出願日： 2012年06月26日
公開日（公表日）： 2014年10月16日
要約：
多層圧電デバイスの製造方法が提供され、この製造方法では、圧電性のグリーンシートと、第1の成分および第2の成分を有する助剤を含む少なくとも1つの薄層と、電極材料を含む層とが交互に重ねられて配設されて焼結される。この焼結の間に上記の助剤の第1の成分と第2の成分とが化学的に反応して、上記の助剤を含む少なくとも1つの薄層が分解される。さらに、電極材料と、圧電セラミックと、電極材料からなる他の層に対して低下された破壊負荷を有する、助剤からなる少なくとも1つの層とを備え、この助剤は、上記の第1および第2の成分の他に第5の成分を含み、これらは圧電材料に好適な焼結温度、とりわけ最高で1050°において、最大でもほんの僅かな焼結活性を備え、使用されている圧電材料と反応しない。最後に本発明は、破壊応力を低下するために、多層圧電デバイスの助剤にZrO2、BaTiO3またはこれらの混合物を用いることを目的としている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
多層圧電デバイスの製造方法であって、
A)電極材料と、圧電材料を含むグリーンシートとを準備するステップ。
B)少なくとも第1および第2の成分を含む助剤を準備するステップ。
C)圧電性のグリーンシートと、前記助剤を含む少なくとも1つの薄層および前記電極材料を含む層とが交互に重なって設けられた積層体(1)を形成するステップと、
D)前記積層体(1)を焼結するステップ、
とを備え、
前記方法ステップD)において、前記助剤の前記第1および第2の成分が化学的に反応して、前記少なくとも1つの薄層が分解されることを特徴とする方法。
IPC (4件)：
H01L 41/273
, H01L 41/43
, H01L 41/083
, C04B 35/64
H01L41/273
, H01L41/43
, H01L41/083
, C04B35/64 G
