特許
J-GLOBAL ID：201403066117752948
パージ装置、ロードポート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐野 禎哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-177922
公開番号（公開出願番号）：特開2014-036184
出願日： 2012年08月10日
公開日（公表日）： 2014年02月24日
要約：
【課題】所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を行うことが可能なボトムパージ方式を採用しつつ、パージ処理時に、パージノズルの周辺環境に存在する粉塵や埃、パーティクル等がパージ用気体とともにパージ対象容器内に混入してしまう事態を防止・抑制するすることが可能なパージ装置を提供する。【解決手段】上方に開口するパージ用気体流路23を内部に形成したパージノズルのうち上向き面を少なくとも上方から被覆し得るカバー6と、カバー6を、パージノズルの上向き面を上方から被覆する被覆位置と、パージノズルの上向き面を上方に露出させる非被覆位置との間で移動させる駆動機構7とを備え、駆動機構7によって、パージ処理を行う場合にカバー6を非被覆位置に位置付け、パージ処理を行わない場合にカバー6を被覆位置に位置付けるように構成したパージ装置とした。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体を供給可能なパージノズルを備え、パージ対象容器の底面に設けたポートに前記パージノズルの先端部を接触させた状態で、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能に構成したパージ装置であって、
上方に開口するパージ用気体流路を内部に形成した前記パージノズルのうち上向き面を少なくとも上方から被覆し得るカバーと、
前記カバーを、前記パージノズルの上向き面を上方から被覆する被覆位置と、前記パージノズルの上向き面を上方に露出させる非被覆位置との間で移動させる駆動機構とを備え、
前記駆動機構によって、パージ処理を行う場合に前記カバーを前記非被覆位置に位置付け、パージ処理を行わない場合に前記カバーを前記被覆位置に位置付けるように構成していることを特徴とするパージ装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677
, H01L 21/673
H01L21/68 A
, H01L21/68 T
5F131AA02
, 5F131DC06
, 5F131GA14
, 5F131GA88
, 5F131GA92
, 5F131HA02
, 5F131HA29
, 5F131JA07
, 5F131JA12
, 5F131JA34
, 5F131JA35
