特許
J-GLOBAL ID:201103063925576480

ガス注入装置、ガス排出装置、ガス注入方法及びガス排出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 大森 純一 ,  折居 章
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-049077
公開番号(公開出願番号):特開2011-187539
出願日: 2010年03月05日
公開日(公表日): 2011年09月22日
要約:
【課題】、容器が載置される載置台に、ガスを容器内に注入または容器からガスを排出するためのノズルが搭載される装置においても、容器を載置台上で確実に位置決めすることができるガスの注入装置、排出装置、注入方法及び排出方法を提供すること。【解決手段】キャリアベース21に容器であるキャリア10が載置される時、キネマティックピン7がキャリア10の底部103に設けられた位置決め溝101に係合してキャリア10が載置台2上で位置決めされる。そしてこの状態から、昇降駆動ユニット4により注入ノズル5がキャリア10の注入部102に接触する。したがって、キャリア10が載置台2上で位置決めされる前に、注入ノズル5がキャリア10の注入部102にひっかかるという事態が発生しない。すなわち、キャリア10を載置台2上で確実に位置決めすることができる。【選択図】図4
請求項(抜粋):
底部と前記底部に設けられた位置決め溝と前記底部に設けられたガスの注入部とを有する、被収容体を収容する容器が載置される載置台と、 前記載置台から突出するように設けられ、前記容器の前記位置決め溝に係合可能な位置決めピンと、 前記容器の前記注入部を介して前記ガスを前記容器内に注入するためのノズルと、 前記容器の前記位置決め溝に前記位置決めピンが係合した状態で、前記ノズルを前記容器の前記注入部に接触させるように、前記ノズルを駆動することが可能な駆動部と を具備するガス注入装置。
IPC (1件):
H01L 21/677
FI (1件):
H01L21/68 A
Fターム (9件):
5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031FA03 ,  5F031KA20 ,  5F031MA11 ,  5F031MA15 ,  5F031NA04 ,  5F031NA07
引用特許:
審査官引用 (5件)
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