特許
J-GLOBAL ID:201403067509413188

磁気センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-124820
公開番号(公開出願番号):特開2014-029988
出願日: 2013年06月13日
公開日(公表日): 2014年02月13日
要約:
【課題】磁気センサ10において、ピン層15からの漏れ磁界がフリー層17a、17bに与える影響を抑制する。【解決手段】ピン層15は、配線層14に対して基板11と反対側から配線層14を覆う断面湾曲状に形成されている。フリー層17a、17bは、ピン層15に対して基板11と反対側に配置されている。フリー層17a、17bの面方向のサイズは、ピン層15の面方向のサイズよりも小さいサイズに設定されている。ピン層15からの漏れ磁界が基板11側(ピン層15に対してフリー層17a、17bの反対側)に閉ループを形成することができる。したがって、ピン層15からの漏れ磁界がフリー層17a、17bに与える影響を抑制することができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板(11)の一面側に搭載されて、前記基板の面方向に対して平行に磁化方向が固定されている磁化固定層(15)と、 前記磁化固定層に対して前記基板と反対側に配置されて、外部磁場によって磁化方向が追従して変化する強磁性層(17a、17b)と、 前記磁化固定層と前記強磁性層との間に挟まれて前記磁化固定層の磁化方向と前記強磁性層の磁化方向との間の角度によって抵抗値が変化する非磁性中間層(16)とを備え、 前記磁化固定層と前記強磁性層との間の抵抗値に基づいて前記外部磁場の印加角度を測定する磁気センサであって、 前記磁化固定層は、前記基板の面方向に対して平行に面方向が形成される平面部(15a)の面方向一方側および他方側がそれぞれ曲げられる断面湾曲状に形成される湾曲部を有することを特徴とする磁気センサ。
IPC (2件):
H01L 43/08 ,  G01R 33/09
FI (2件):
H01L43/08 Z ,  G01R33/06 R
Fターム (12件):
2G017AA03 ,  2G017AA06 ,  2G017AD55 ,  2G017AD63 ,  2G017AD65 ,  5F092AA20 ,  5F092AB01 ,  5F092AC12 ,  5F092AD05 ,  5F092BC04 ,  5F092BC07 ,  5F092BC43
引用特許:
審査官引用 (5件)
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