特許

J-GLOBAL ID：201403067622084034

改良されたフォトイメージング

発明者： ジョナサン ケネット ,  ジョン カニンガム
出願人/特許権者： レインボー テクノロジー システムズ リミテッド
代理人 (1件)： 特許業務法人アイミー国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-257900
公開番号（公開出願番号）：特開2014-106302
出願日： 2012年11月26日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
要約：

【課題】フォトイメージングするための方法及び装置を提供する。【解決手段】具体的には、湿式硬化性フォトポリマで被覆された基板をフォトイメージングするための方法及び装置であって、フォトイメージングされた基板は、電気回路、或いは、例えば、線、正方形、螺旋、円、又は、他の幾何学的及び非幾何学的図形等の、光化学機械加工産業(PCMI) において使用される他の特徴等のイメージを形成するために使用される。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板をフォトイメージングするための方法であって、 基板に被覆材を提供することと、 該被覆材の少なくとも部分上に液体フォトポリマを堆積させて、約178μm(0.007インチ)未満の厚みを有するフォトポリマのフィルムを形成することと、 前記液体フォトポリマ上にフォトツールを位置決めすることと、 前記液体フォトポリマに放射を適用して、前記フォトツールを介して照射領域内の前記フォトポリマを硬化させることと、 を備える、基板をフォトイメージングするための方法。

IPC (5件)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/38 ,  G03F 7/11 ,  G03F 7/09

FI (6件)：

G03F7/20 501 ,  H01L21/30 505 ,  H01L21/30 564Z ,  G03F7/38 501 ,  G03F7/11 503 ,  G03F7/09 501

Fターム (29件)：

2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA01 ,  2H096CA11 ,  2H096DA10 ,  2H096EA02 ,  2H096EA04 ,  2H097AA01 ,  2H097AB09 ,  2H097CA12 ,  2H097FA02 ,  2H097FA05 ,  2H097GA31 ,  2H097LA09 ,  2H097LA11 ,  2H125CA11 ,  2H125CA13 ,  2H125CA15 ,  2H125CB02 ,  2H125CC01 ,  2H125CD20P ,  2H125CD31 ,  2H125DA21 ,  2H125DA31 ,  2H125EA11P ,  5F146BA01 ,  5F146CA10 ,  5F146JA20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-317628   出願人：凸版印刷株式会社
• レジストパターンの作製方法及び半導体装置の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-008872   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所