特許
J-GLOBAL ID：201403068522074070

プラズマ光源

発明者：
桑原 一

桑原 一 について


出願人/特許権者：
株式会社IHI

株式会社IHI について


代理人 (5件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-130715
公開番号（公開出願番号）：特開2013-254694
出願日： 2012年06月08日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
要約：
【課題】極端紫外光を長時間安定に得ることが可能なプラズマ光源を提供する。【解決手段】プラズマ光源は、互いに対向配置され、その間に極端紫外光を放射するプラズマ3を発生すると共にプラズマ3を閉じ込める一対の同軸状電極10、10を備える。各同軸状電極10は、単一の軸線Z-Z上に延びる棒状の中心電極12と、中心電極12の外周を囲むように設けられた外部電極14と、中心電極12と外部電極14とを絶縁する絶縁体16とを有し、外部電極14、中心電極12と対向する側面に、中心電極12に向けて突出する突部15を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
互いに対向配置され、その間に極端紫外光を放射するプラズマを発生すると共に前記プラズマを閉じ込める一対の同軸状電極と、各前記同軸状電極に対して放電電圧を印加する電圧印加装置と、各前記同軸状電極内で前記プラズマの媒体を放出させると共に前記プラズマの初期放電を発生させるレーザー光を生成するレーザー装置とを備え、 各前記同軸状電極は、単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、前記中心電極の周方向に配置された複数の棒状の外部電極と、前記中心電極と前記外部電極とを絶縁する絶縁体とを有し、 各前記同軸状電極において、前記中心電極は、前記外部電極と対向する側面に前記プラズマの前記媒体となる物質を含む金属層を有し、前記外部電極は、前記中心電極と対向する側面に、当該側面から前記中心電極に向けて突出する突部を有し、 各前記外部電極の前記突部は前記金属層に交差すると共に前記軸線に直交する平面上に位置し、 前記レーザー装置は、各前記中心電極の前記金属層に前記レーザー光を照射する ことを特徴とするプラズマ光源。
IPC (2件)：
H05G 2/00 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
H05G1/00 K ,  H01L21/30 531S
Fターム (6件)：
4C092AA06 ,  4C092AB21 ,  4C092AC09 ,  4C092BD09 ,  5F146GA21 ,  5F146GC12
引用特許：
出願人引用 (6件)
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