特許
J-GLOBAL ID：201403068710512069

検査装置、接合システム、検査方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体

発明者：
古閑 新二

古閑 新二 について

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宮原 昭徳

宮原 昭徳 について

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富田 浩

富田 浩 について

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岩永 修児

岩永 修児 について

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田村 武

田村 武 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (4件)： 金本 哲男 ,  亀谷 美明 ,  萩原 康司 ,  扇田 尚紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-184086
公開番号（公開出願番号）：特開2014-041957
出願日： 2012年08月23日
公開日（公表日）： 2014年03月06日
要約：
【課題】基板同士を接合した重合基板を検査する検査装置を小型化しつつ、当該検査装置で重合基板の接合状態を適切に検査する。【解決手段】重合ウェハWTを検査する検査装置50は、重合ウェハWTの裏面を保持し、切り欠き部295が形成された第1の保持部290と、重合ウェハWTを保持して回転させる第2の保持部310と、第1の保持部290に保持された重合ウェハWTに赤外線を照射する赤外線照射部320と、赤外線照射部320から照射された赤外線を受信し、第1の保持部290に保持された重合ウェハWT分割して撮像する撮像部330と、第2の保持部310に保持された重合ウェハWTを回転させながら、当該重合ウェハWTを構成する上ウェハWUと下ウェハWLの外側面の変位をそれぞれ測定する変位計350と、を有する。【選択図】図18
請求項（抜粋）：
基板同士を接合した重合基板を検査する検査装置であって、 重合基板を保持して回転させる保持部と、 前記保持部に保持された重合基板を回転させながら、当該重合基板を構成する第1の基板と第2の基板の外側面の変位をそれぞれ測定する変位計と、を有することを特徴とする、検査装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/02
FI (2件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/02 B
Fターム (30件)：
5F131AA02 ,  5F131BA37 ,  5F131BA39 ,  5F131CA38 ,  5F131DA20 ,  5F131DA22 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DA62 ,  5F131DB12 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131EA02 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EB02 ,  5F131EB55 ,  5F131EB72 ,  5F131KA14 ,  5F131KA16 ,  5F131KA45 ,  5F131KA72 ,  5F131KB04 ,  5F131KB05 ,  5F131KB06 ,  5F131KB54 ,  5F131KB55
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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