特許
J-GLOBAL ID：201403068902195156
光導波路の製造方法及び光導波路
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大谷 保
, 平澤 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-179030
公開番号（公開出願番号）：特開2014-038134
出願日： 2012年08月10日
公開日（公表日）： 2014年02月27日
要約：
【課題】コア層からなるコアパターンに簡便にテーパをつけることができ、テーパ量を容易に調整することができるテーパ付きの光導波路の製造方法及び光導波路を提供する。【解決手段】基板1上に、下部クラッド層2、コア層3、上部クラッド層5が順に積層してなる光導波路の製造方法であって、基板1の一面に下部クラッド層形成用樹脂を積層して下部クラッド層2を形成する工程と、下部クラッド層2上にコア層形成用樹脂を積層し、基板1の下部クラッド層2を形成した他面側から一部を加圧し、基板1を介してコア層形成用樹脂を変形させ、コア層形成用樹脂表面を平坦化させてテーパ付きのコア層3を形成する工程と、コア層3及びコア層3が形成されていない下部クラッド層2上に上部クラッド層5を形成する工程とを含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に、下部クラッド層、コア層、上部クラッド層が順に積層してなる光導波路の製造方法であって、
該基板の一面に下部クラッド層形成用樹脂を積層して該下部クラッド層を形成する工程と、
該下部クラッド層上にコア層形成用樹脂を積層し、該基板の該下部クラッド層を形成した他面側から一部を加圧し、該基板を介して該コア層形成用樹脂を変形させ、該コア層形成用樹脂表面を平坦化させてテーパ付きの該コア層を形成する工程と、
該コア層及び該コア層が形成されていない該下部クラッド層上に該上部クラッド層を形成する工程
とを含むことを特徴とする光導波路の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (19件)：
2H147AB24
, 2H147BB02
, 2H147BB03
, 2H147BG17
, 2H147CC12
, 2H147CC13
, 2H147DA08
, 2H147EA10C
, 2H147EA14C
, 2H147EA16A
, 2H147EA16B
, 2H147EA16C
, 2H147EA17A
, 2H147EA17B
, 2H147FA17
, 2H147FC03
, 2H147FF02
, 2H147FF04
, 2H147FF05
