特許
J-GLOBAL ID：201403069323014464
電子ビーム加工機及びその電子ビーム加工機の調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
村上 啓吾
, 大岩 増雄
, 吉澤 憲治
, 竹中 岑生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-195638
公開番号（公開出願番号）：特開2014-053113
出願日： 2012年09月06日
公開日（公表日）： 2014年03月20日
要約：
【課題】大きな偏向領域が実現でき、小型化でき、電子ビーム照射位置を高速移動させた時の、過渡的な電子ビーム位置決め精度を向上させることを目的とする。【解決手段】被加工物であるワーク8上に照射する電子ビーム2を発生する電子銃1、電子ビーム2を集束させる集束レンズ3、集束された電子ビーム2をX軸方向及びY軸方向に偏向するための偏向コイルを卷回してなる第一偏向器4及び第一偏向器4で偏向された電子ビームを偏向する偏向コイルを卷回してなる第二偏向器5、偏向信号を発生する信号発生器7、偏向信号をもとに偏向電流を発生し該偏向電流を第一偏向器4の偏向コイル及び第二偏向器5の偏向コイルに供給する偏向電源6を備えた電子ビーム加工機において、第一偏向器4の内径に対して第二偏向器5の内径が大きく、かつ、第二偏向器5の偏向コイルの巻き数を第一偏向器4の偏向コイルの巻き数より少なくする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被加工物であるワーク上に照射する電子ビームを発生する電子銃、上記電子ビームを集束させる集束レンズ、上記集束レンズで集束された電子ビームを少なくとも一軸方向に偏向するための偏向コイルを卷回してなる第一偏向器及び上記第一偏向器で偏向された電子ビームを少なくとも一軸方向に偏向するための偏向コイルを卷回してなる第二偏向器、偏向信号を発生する信号発生器、上記偏向信号をもとに偏向電流を発生し、該偏向電流を上記第一偏向器及び第二偏向器の偏向コイルに流す偏向電源を備えた電子ビーム加工機において、
上記第一偏向器の偏向コイルの内径に対して上記第二偏向器の偏向コイルの内径が大きく、かつ、上記第二偏向器の偏向コイルの巻き数を上記第一偏向器の偏向コイルの巻き数より少なくしたことを特徴とする電子ビーム加工機。
IPC (4件)：
H01J 37/305
, H01J 37/315
, H01J 37/147
, B23K 15/00
H01J37/305 A
, H01J37/315
, H01J37/147 E
, B23K15/00 503
4E066BA04
, 4E066BB05
, 4E066CA15
, 5C034BB04
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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