特許

J-GLOBAL ID：201403071048106064

センシング装置、検査装置、及び電子機器

発明者： 戸谷 隆史 ,  窪田 岳彦
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-162379
公開番号（公開出願番号）：特開2014-022675
出願日： 2012年07月23日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
要約：

【課題】受光部及び回路部に対する遮光性を向上することで、受光部及び回路部に配置されているトランジスターの光リーク電流の増加を抑制し、センシング精度を向上させる。【解決手段】本発明のセンシング装置は、光電変換素子を含む受光部及び受光部を駆動する回路部を有するセンサー基板と、受光部と回路部とに平面的に重なって形成され光電変換素子に対応した開口部を有する遮光膜と、受光部と回路部とに平面的に重なって形成された特定波長カットフィルターと、を備えている。遮光膜及び特定波長カットフィルターによって、トランジスターのリーク電流の増加となる不要な光を抑制することができる。さらに、遮光膜に遮光性が低下した領域が発生しても、特定波長カットフィルターによって遮光性は確保されているので、センシング精度の低下となるトランジスターのリーク電流の増加は抑制される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光電変換素子を含む受光部、及び前記受光部を駆動する回路部を有するセンサー基板と、 前記受光部と前記回路部とに平面的に重なって形成され、前記光電変換素子に対応した開口部を有する遮光膜と、 前記受光部と前記回路部とに平面的に重なって形成された特定波長カットフィルターと、 を備えていることを特徴とするセンシング装置。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/369

FI (2件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 690

Fターム (27件)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA07 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA05 ,  4M118CB05 ,  4M118CB14 ,  4M118DD04 ,  4M118DD12 ,  4M118GA03 ,  4M118GA04 ,  4M118GB01 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GC11 ,  4M118GC17 ,  4M118HA23 ,  4M118HA24 ,  4M118HA25 ,  4M118HA35 ,  5C024CX03 ,  5C024EX51 ,  5C024EX55 ,  5C024GX03 ,  5C024GY38 ,  5C024GY39

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 撮像装置、撮像装置の製造方法及び撮像装置を搭載した装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-284505   出願人：株式会社日立製作所
• 撮像フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-065880   出願人：フジノン株式会社