特許
J-GLOBAL ID：201403071707886552

摺動部材、その製造方法、および摺動構造

発明者：
神野 哲史

神野 哲史 について


出願人/特許権者：
トヨタ自動車株式会社

トヨタ自動車株式会社 について


代理人 (3件)： 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  美馬 保彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-241916
公開番号（公開出願番号）：特開2014-091844
出願日： 2012年11月01日
公開日（公表日）： 2014年05月19日
要約：
【課題】有機モリブデン化合物を含む潤滑剤を用いなくとも、非晶質炭素被膜の表面に、二硫化モリブデンを好適に生成することができる摺動部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】基材11の表面に、非晶質炭素被膜13を成膜するための工程を含む摺動部材の製造方法である。非晶質炭素被膜13を成膜する際に、モリブデン系ターゲットに印加する印加電圧を調整することにより、モリブデンまたは二硫化モリブデンからなるモリブデン系ターゲットの表面にアーク放電を生成する。このアーク放電により、モリブデン系ターゲットからモリブデン粒子または二硫化モリブデン粒子を放出させ、非晶質炭素被膜にモリブデン粒子または二硫化モリブデン粒子の粒子13aが分散した非晶質炭素被膜11を成膜する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基材の摺動面に、非晶質炭素被膜を成膜するための工程を含む摺動部材の製造方法であって、 前記非晶質炭素被膜を成膜する工程は、非晶質炭素被膜を成膜する際に、モリブデンまたは二硫化モリブデンからなるモリブデン系ターゲットの表面にアーク放電を生成することにより、モリブデン系ターゲットからモリブデン粒子または二硫化モリブデン粒子を放出させ、非晶質炭素被膜にモリブデン粒子または二硫化モリブデン粒子が分散した非晶質炭素被膜を成膜するものであり、 前記非晶質炭素被膜を成膜する工程において、前記モリブデン系ターゲットの表面にアーク放電を発生させるために前記モリブデン系ターゲットに印加する印加電圧を調整することにより、前記非晶質炭素被膜に分散させるモリブデン粒子または二硫化モリブデン粒子の粒径を調整することを特徴とする摺動部材の製造方法。
IPC (3件)：
C23C 16/27 ,  C23C 14/06 ,  F16J 9/26
FI (3件)：
C23C16/27 ,  C23C14/06 F ,  F16J9/26 C
Fターム (27件)：
3J044AA02 ,  3J044BB18 ,  3J044BB26 ,  3J044BB31 ,  3J044BC00 ,  3J044DA20 ,  3J044EA10 ,  4K029AA02 ,  4K029BA07 ,  4K029BA11 ,  4K029BA34 ,  4K029BA64 ,  4K029BB02 ,  4K029BB10 ,  4K029BD04 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029CA13 ,  4K029DD06 ,  4K029EA09 ,  4K030AA09 ,  4K030BA12 ,  4K030BA28 ,  4K030BA61 ,  4K030BB12 ,  4K030FA01 ,  4K030HA02
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 硬質被膜及び被覆部材
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-367844   出願人：住友電気工業株式会社
  • 硬質炭素被膜
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-219194   出願人：株式会社日立製作所
  • 複合被膜およびその被覆摺動部品
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-051565   出願人：住友電気工業株式会社
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