特許
J-GLOBAL ID：201403072260210528
レーザーパルスによる加工物の製造方法及びレーザー加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-146465
公開番号（公開出願番号）：特開2014-008519
出願日： 2012年06月29日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
要約：
【課題】レーザーパルスが照射される領域における加工の深さを均一にする。【解決手段】レーザーパルスによる加工物の製造方法は、複数のレーザーパターン71からなるレーザーパターン列70を加工対象物50に照射することによって加工対象物50を加工する工程を有する。回折光学素子20によりレーザーパルスをジグザグ状に並ぶ複数のレーザーパターン71に分岐してレーザーパターン列70を形成する。x番目及び(x+1)番目のレーザーパターン71の中心を結ぶ線分と、(x+1)番目及び(x+2)番目のレーザーパターン71の中心を結ぶ線分と、のなす角度αは、2arctan(1/m)×180/πである。x、mはそれぞれ1以上の正の整数である。レーザーパターン71が千鳥格子状に照射されるように、レーザーパターン列70をその長手方向に対する交差方向に走査する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透過型の回折光学素子を透過させるか又は反射型の回折光学素子にて反射させることによりレーザーパルスを直線に沿ってジグザグ状に並ぶ複数のレーザーパターンに分岐して、前記複数のレーザーパターンからなるレーザーパターン列を加工対象物に照射することによって前記加工対象物を加工する工程を有し、
前記レーザーパターン列のレーザーパターンのうち、前記直線の一端側から数えてx番目及び(x+1)番目のレーザーパターンの中心どうしを結ぶ線分と、(x+1)番目及び(x+2)番目のレーザーパターンの中心どうしを結ぶ線分と、のなす角度αは、2arctan(1/m)×180/π(xは1以上の任意の正の整数、mは1以上の正の整数)であり、
前記加工対象物を加工する工程では、前記レーザーパターンが前記加工対象物に対して千鳥格子状に照射されるように、前記レーザーパターン列を前記直線の延在方向に対する交差方向に走査するレーザーパルスによる加工物の製造方法。
IPC (4件)：
B23K 26/073
, B23K 26/067
, B23K 26/064
, B23K 26/082
B23K26/073
, B23K26/067
, B23K26/06 Z
, B23K26/08 B
4E068AC01
, 4E068AD01
, 4E068CD04
, 4E068CD05
, 4E068CD08
, 4E068CE02
, 4E068DA09
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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