特許

J-GLOBAL ID：201403074551532657

差圧検出素子

発明者： 千葉 康人 ,  須藤 勇気
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： とこしえ特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-016665
公開番号（公開出願番号）：特開2014-149166
出願日： 2013年01月31日
公開日（公表日）： 2014年08月21日
要約：

【課題】圧力印加方向に対する感度の対称性が良好な差圧検出素子を提供する。【解決手段】差圧検出素子10は、ピエゾ抵抗層121,122を有するカンチレバー部12と、ピエゾ抵抗層121,122に電気的に接続された電極13,14と、第1の貫通孔112を有すると共に、カンチレバー部12及び電極13,14を支持する下部基板11と、を備え、カンチレバー部12は、第1の貫通孔112に突出するように下部基板11に片持支持されており、差圧検出素子10は、下部基板11の主面111に積層されたガラス部材15をさらに備えており、ガラス部材15は、第1の貫通孔112の開口形状と実質的に同一の開口形状を有し、且つ、第1の貫通孔112に対向するように配置された第2の貫通孔151を有する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

ピエゾ抵抗層を有するカンチレバー部と、 前記ピエゾ抵抗層に電気的に接続された電極と、 第1の貫通孔を有すると共に、前記カンチレバー部及び前記電極を支持する下部基板と、を備え、 前記カンチレバー部は、前記第1の貫通孔に突出するように前記下部基板に片持支持されている差圧検出素子であって、 前記差圧検出素子は、前記下部基板において前記カンチレバー部が設けられた主面に積層された上部基板をさらに備えており、 前記上部基板は、前記第1の貫通孔の開口形状と実質的に同一の開口形状を有し、且つ、前記第1の貫通孔に対向するように配置されている第2の貫通孔を有することを特徴とする差圧検出素子。

IPC (3件)：

G01P 5/14 ,  G01F 1/34 ,  G01F 1/00

FI (3件)：

G01P5/14 J ,  G01F1/34 Z ,  G01F1/00 S

Fターム (2件)：

2F030CA04 ,  2F030CF09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-188350
  
• 流速センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-001917   出願人：国立大学法人東京大学
• 特開平4-070516
  
• 特開昭61-138125