金属内の異物弁別方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：溝上哲也 , 岩原義則 , 山本進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-055323
公開番号（公開出願番号）：特開2014-181951
出願日： 2013年03月18日
公開日（公表日）： 2014年09月29日
要約：

【課題】金属内の介在物や析出物等の異物を短時間で大量に同定して弁別する。【解決手段】金属内の介在物又は析出物から得られた特性X線情報に含まれる元素とその強度を取得する。特性X線情報に含まれるO,S,N,Cの元素を除く一の元素と、O,S,N,Cの元素との強度相関を求め、前記一の元素の所定値以下のデータを除いて両元素の相関関係を求める。酸化物、硫化物、窒化物、炭化物の特性X線強度比のテーブルに所定の相関関係の範囲を付与し、前記両元素の相関関係が前記一の元素の酸化物、硫化物、窒化物、炭化物の特性X線強度比のテーブルに所定の相関関係の範囲を満たしているか否かを判定する。所定の相関関係を満たしている場合は、前記一の元素の酸化物、硫化物、窒化物、炭化物の何れか又は複合物があるとして、介在物又は析出物を同定する。前記一の元素を除いて、特性X線情報に含まれる元素(O,S,N,Cの元素は除く)について繰返す。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属材料中に含まれる介在物又は析出物を、以下の(1)〜(7)の工程により同定することを特徴とする金属内の異物弁別方法。 (1)走査電子顕微鏡又は電子線マイクロアナライザーを用いて個々の介在物又は析出物に電子線を照射し、前記個々の介在物又は析出物から得られた特性X線情報に含まれる元素とその強度を取得する工程。 (2)前記個々の介在物又は析出物から得られた特性X線情報に含まれる、O,S,N,Cの元素を除く一の元素と、O,S,N,Cのそれぞれの元素との強度相関を求める工程。 (3)前記強度相関において、前記特性X線情報に含まれる前記一の元素の所定値以下のデータを除いて、前記一の元素とO,S,N,Cのそれぞれの元素の相関関係を求める工程。 (4)酸化物、硫化物、窒化物、炭化物の特性X線強度比のテーブルに所定の相関関係の範囲を付与する工程。 (5)(3)の工程における前記一の元素とO,S,N,Cのそれぞれの元素の相関関係が前記一の元素の酸化物、硫化物、窒化物、炭化物の特性X線強度比のテーブルに所定の相関関係の範囲を満たしているか否かを判定する工程。 (6)前記所定の相関関係を満たしている場合には、前記一の元素の酸化物、硫化物、窒化物、炭化物の何れか、又は複合物があるとして、介在物又は析出物を同定する工程。 (7)前記一の元素と該当するO,S,N,Cの強度を(1)の工程から除く演算を行い、前記一の元素を除いて、特性X線情報に含まれる元素(O,S,N,Cの元素は除く)について(2)から(6)を繰返す工程。

IPC (1件)：

G01N 23/225

FI (1件)：

G01N23/225

Fターム (12件)：

2G001AA03 , 2G001BA05 , 2G001BA07 , 2G001BA14 , 2G001CA01 , 2G001CA03 , 2G001GA01 , 2G001GA12 , 2G001HA13 , 2G001KA01 , 2G001KA03 , 2G001LA02

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭61-062850
特開昭57-142551
特開平1-314956

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