特許
J-GLOBAL ID:201403079186672675
液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-236962
公開番号(公開出願番号):特開2014-083829
出願日: 2012年10月26日
公開日(公表日): 2014年05月12日
要約:
【課題】圧電アクチュエータ基板と流路部材とを積層する際に、ビアホール導体周囲にクラックの生じ難い液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、セラミック層21aと圧電セラミック層21bとが積層されており、一対の電極34、35とそれらに挟まれた圧電セラミック層21bを含む加圧部50を備えている圧電アクチュエータ基板21と、圧電アクチュエータ基板21のセラミック層21a側の下に積層されており、加圧室10および吐出孔8を備えている流路部材4とを含む液体吐出ヘッドであって、圧電アクチュエータ基板21は、一対の電極34、35のうちの圧電アクチュエータ基板21内部にある内部電極34と電気的に接続されていて、圧電セラミック層21bを貫通しているビアホール導体37aを備えており、流路部材4はビアホール導体37の直下に凹部22aを備えている。【選択図】図5
請求項(抜粋):
セラミック層と圧電セラミック層とが積層されており、該圧電セラミック層および当該圧電セラミック層を挟んでいる一対の電極を含んでいる加圧部を備えている圧電アクチュエータ基板と、
該圧電アクチュエータ基板の前記セラミック層側の下に積層されており、前記加圧部により加圧される加圧室、および該加圧室と繋がっている吐出孔を備えている流路部材と
を含む液体吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータ基板は、前記一対の電極のうちの前記圧電アクチュエータ基板内部にある内部電極と電気的に接続されていて、前記圧電セラミック層を貫通しているビアホール導体を備えており、
前記流路部材は、前記ビアホール導体のある部位の直下に凹部を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
IPC (2件):
FI (1件):
Fターム (7件):
2C057AF65
, 2C057AG44
, 2C057AG92
, 2C057AP02
, 2C057AP25
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許:
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