特許

J-GLOBAL ID：201403079422732200

露光用基板搬送装置

発明者： 佐治 伸仁
出願人/特許権者： NSKテクノロジー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-034764
公開番号（公開出願番号）：特開2014-165322
出願日： 2013年02月25日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：

【課題】本発明は、上記事情に鑑みて為されたものであり、その目的は、基板搬送機構から基板を脱落させずに、基板を往復運動させることができる基板搬送機構を提供することにある。【解決手段】本発明に係る露光用基板搬送装置1は、空気の吹き出しにて基板2を浮上させながら搬送する基板浮上機構3と、基板浮上機構3の側面からはみ出した基板2の片端部及び両端部を固定する基板把持機構5と、基板浮上機構3及の側面と隣接して設けられ、基板把持機構5を介して基板2を正負のX軸に沿った方向に往復運動する基板搬送機構6と、を備えることを特徴とする露光用基板搬送装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の片端部もしくは両端部を把持する基板把持機構と、 前記基板把持機構を移動させる基板移動機構と、 前記基板を浮上させる媒質を発生させる複数の基板浮上機構と、 を備え、 前記基板が媒質によって浮上され、かつ、前記基板移動機構が前記把持機構を往復運動させることを特徴とする露光用基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/06 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z ,  G03F7/20 501

Fターム (18件)：

2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  2H097AB07 ,  2H097BA10 ,  2H097DB07 ,  2H097DB11 ,  2H097LA12 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131BA13 ,  5F131CA09 ,  5F131DA02 ,  5F131DB12 ,  5F131DB72 ,  5F131DB87 ,  5F131DC12 ,  5F131DC19

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ワーク搬送装置、液滴吐出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-264686   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-160641   出願人：東レエンジニアリング株式会社

審査官引用 (2件)

• ワーク搬送装置、液滴吐出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-264686   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-160641   出願人：東レエンジニアリング株式会社