バリウム-スカンジウム酸化物ディスペンサカソード用の標的

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：伊東忠重 , 伊東忠彦 , 大貫進介 , 永坂均
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-523429
公開番号（公開出願番号）：特表2014-525991
出願日： 2012年07月31日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
要約：

本発明はバリウム-スカンジアディスペンサカソード又は他のバリウム-スカンジア材料の製造の分野に関する。Bao、CaO、Al2O3、及びSc2O3の混合物を含む標的(66)は、スカンジア(酸化スカンジウム)含有量が高ければ高いほど、より安定的である傾向を有する。しかしながら、スカンジア含有量の増大は放射性能の減少を招く。スカンジア含有量の増大が材料を安定化させるのみならず、アルミナ(酸化アルミニウム)含有量の増大も安定性を向上させるので、BaO及びCaO反応の不安定化効果は、より不活性なSc2O3によって相殺され、そして、Al2O3化合物によっても相殺される。

請求項（抜粋）：

バリウム-スカンジウム酸化物ディスペンサカソードの製造において使用される物理的薄膜蒸着のための標的材料であって、当該標的材料は、酸化バリウムBaO、酸化カルシウムCaO、酸化アルミニウムAl2O3、及び酸化スカンジウムSc2O3の混合物を含み、或いは酸化バリウムBaO、酸化カルシウムCaO、酸化アルミニウムAl2O3、及び酸化スカンジウムSc2O3の混合物で構成され、 BaO:CaO:Al2O3:Sc2O3のモル比は、b:c:x:yであり、2≦b≦5、1≦c≦3、2≦x+y≦b+c、及び0.1≦y≦1である、標的材料。

IPC (4件)：

C23C 14/24 , C23C 14/34 , C01F 17/00 , C04B 35/44

FI (4件)：

C23C14/24 E , C23C14/34 A , C01F17/00 B , C04B35/44

Fターム (23件)：

4G031AA04 , 4G031AA05 , 4G031AA06 , 4G031AA07 , 4G031AA08 , 4G031AA09 , 4G031AA29 , 4G031BA01 , 4G031BA21 , 4G076AA02 , 4G076AA18 , 4G076AB02 , 4G076BA04 , 4G076BG01 , 4G076CA10 , 4G076DA30 , 4K029BA50 , 4K029DB05 , 4K029DB07 , 4K029DB20 , 4K029DC05 , 4K029DC08 , 4K029DC09

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平4-214859
可制御熱電子放出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-000691 出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
特開昭63-091924

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