特許

J-GLOBAL ID：201403079551361730

超純水製造装置及び超純水製造方法

発明者： 阿部 嗣 ,  米原 崇広 ,  天谷 徹
出願人/特許権者： 野村マイクロ・サイエンス株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-110311
公開番号（公開出願番号）：特開2014-226642
出願日： 2013年05月24日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
要約：

【課題】原水及び使用済み超純水を被処理水として、高純度の純水を効率よく製造することのできる超純水製造装置及び超純水製造方法を提供すること。【解決手段】前処理システムと、一次純水システムと、回収処理システムとを備える超純水製造装置及びこれを用いた超純水製造方法であって、前記回収処理システムは逆浸透膜装置と電気脱イオン装置とをこの順に備え、使用済み超純水を前記一次純水システムに返送し、前記一次純水システムは逆浸透膜装置と電気脱イオン装置とをこの順に備える超純水製造地及び方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

前処理システムと、一次純水システムと、回収処理システムとを備える超純水製造装置であって、 前記回収処理システムは逆浸透膜装置と電気脱イオン装置とをこの順に備え、使用済み超純水を前記一次純水システムに返送し、 前記一次純水システムは逆浸透膜装置と電気脱イオン装置とをこの順に備えることを特徴とする超純水製造装置。

IPC (7件)：

B01D 61/58 ,  C02F 1/44 ,  B01D 61/48 ,  C02F 1/469 ,  C02F 1/58 ,  C02F 1/32 ,  C02F 9/00

FI (14件)：

B01D61/58 ,  C02F1/44 A ,  B01D61/48 ,  C02F1/46 103 ,  C02F1/58 H ,  C02F1/32 ,  C02F9/00 502F ,  C02F9/00 502G ,  C02F9/00 502J ,  C02F9/00 502M ,  C02F9/00 502N ,  C02F9/00 502Z ,  C02F9/00 503A ,  C02F9/00 504A

Fターム (82件)：

4D006GA03 ,  4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006GA17 ,  4D006GA32 ,  4D006HA01 ,  4D006HA21 ,  4D006HA61 ,  4D006JA30C ,  4D006JA42C ,  4D006JA43A ,  4D006JA44A ,  4D006KA01 ,  4D006KA03 ,  4D006KA52 ,  4D006KA53 ,  4D006KA55 ,  4D006KA56 ,  4D006KA57 ,  4D006KA72 ,  4D006KB04 ,  4D006KB11 ,  4D006KB12 ,  4D006KB17 ,  4D006KB21 ,  4D006KD03 ,  4D006KD14 ,  4D006KE02Q ,  4D006KE13P ,  4D006KE17Q ,  4D006KE30R ,  4D006MA01 ,  4D006MA02 ,  4D006MA03 ,  4D006MA13 ,  4D006MA14 ,  4D006MC18 ,  4D006MC54 ,  4D006PA01 ,  4D006PB02 ,  4D006PB04 ,  4D006PB05 ,  4D006PB06 ,  4D006PB08 ,  4D006PB28 ,  4D006PC01 ,  4D037AA03 ,  4D037AB02 ,  4D037BA18 ,  4D037CA02 ,  4D037CA03 ,  4D037CA04 ,  4D037CA15 ,  4D038AA08 ,  4D038AB26 ,  4D038BA04 ,  4D038BB03 ,  4D038BB07 ,  4D038BB08 ,  4D038BB09 ,  4D038BB10 ,  4D038BB17 ,  4D061DA02 ,  4D061DA03 ,  4D061DA08 ,  4D061DB18 ,  4D061DC13 ,  4D061EA09 ,  4D061EB04 ,  4D061EB13 ,  4D061EB19 ,  4D061EB28 ,  4D061EB30 ,  4D061EB39 ,  4D061FA06 ,  4D061FA07 ,  4D061FA08 ,  4D061FA09 ,  4D061FA15 ,  4D061GC02 ,  4D061GC12 ,  4D061GC14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 排水回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-088829   出願人：オルガノ株式会社
• フッ素含有排水の処理装置及び処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-359050   出願人：栗田工業株式会社
• 超純水の製造方法及び超純水製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-351829   出願人：野村マイクロ・サイエンス株式会社