特許
J-GLOBAL ID：201403081141790795

位置合わせマーク、該マークを備えたテンプレート、および、該テンプレートの製造方法

発明者：
平加 貴昭

平加 貴昭 について

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坂本 武士

坂本 武士 について

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市村 公二

市村 公二 について

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原田 三郎

原田 三郎 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (6件)： 藤枡 裕実 ,  深町 圭子 ,  伊藤 英生 ,  後藤 直樹 ,  伊藤 裕介 ,  立石 英之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-145703
公開番号（公開出願番号）：特開2014-011254
出願日： 2012年06月28日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
要約：
【課題】 本発明は、光学的な識別を容易にすることができつつ、洗浄耐性に優れ、異物不良や金属汚染等の発生も防止可能な位置合わせマーク、該マークを備えたテンプレート、および、該テンプレートの製造方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】 テンプレートの位置合わせマークを、光透過性基材を構成する第1の材料から構成される部分と、前記第1の材料とは光学特性が異なる第2の材料から構成される部分とで構成し、前記第1の材料から露出する前記第2の材料の表面を原子層堆積膜で被覆することにより、上記課題を解決する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光透過性基材の主面に凹凸形状の転写パターンを有するテンプレートの位置合わせマークであって、 前記光透過性基材を構成する第1の材料から構成される部分と、 前記第1の材料とは光学特性が異なる第2の材料から構成される部分とを有しており、 前記第1の材料から露出する前記第2の材料の表面が原子層堆積膜で被覆されていることを特徴とするテンプレートの位置合わせマーク。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  B29C 59/02
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  H01L21/30 502M ,  B29C59/02 Z
Fターム (23件)：
4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AJ06 ,  4F209AM32 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4F209PN13 ,  4F209PN20 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA32 ,  5F146EA07 ,  5F146EA09 ,  5F146EA12 ,  5F146EA13 ,  5F146EA15 ,  5F146EA18 ,  5F146EA19 ,  5F146EA24
引用特許：
審査官引用 (8件)
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