特許
J-GLOBAL ID:201403081983941791
発光ダイオードおよびその形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
日向寺 雅彦
, 小崎 純一
, 市川 浩
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-510555
公開番号(公開出願番号):特表2014-518014
出願日: 2012年09月27日
公開日(公表日): 2014年07月24日
要約:
発光素子(LED)は、n形III-V族半導体層と、n形III-V族半導体層に隣接する活性層と、活性層に隣接するp形III-V族半導体層と、を備える。活性層は、1つ以上のVピットを含む。p形III-V族半導体層の一部がVピット内にある。p形III-V族層の形成中に設けられるp形ドーパント注入層は、Vピット内のp形ドーパントの所定の濃度、分布及び/又は均一性をもたらすのを補助する。
請求項(抜粋):
n形窒化ガリウム(GaN)層であって、n形ドーパントでドープされている、n形窒化ガリウム層と、
前記n形GaN層に隣接する活性層であって、前記活性層は1つ以上のVピットを有する、活性層と、
前記活性層に隣接するp形ドーパント注入層と、
前記p形ドーパント注入層に隣接するp形GaN層であって、前記p形GaN層はp形ドーパントでドープされ、前記p形GaN層は第1部分、及び外側が1つ以上のVピットによって境界された第2部分を有し、前記第1部分は前記活性層の上に配置される、p形GaN層と、
を備える、発光ダイオード(LED)。
IPC (3件):
H01L 33/24
, H01L 33/32
, H01L 21/205
FI (3件):
H01L33/00 174
, H01L33/00 186
, H01L21/205
Fターム (24件):
5F045AA04
, 5F045AA08
, 5F045AB14
, 5F045AB17
, 5F045AC08
, 5F045AC09
, 5F045AC12
, 5F045AC15
, 5F045AC19
, 5F045CA10
, 5F045DA54
, 5F045DA55
, 5F045EE19
, 5F141AA03
, 5F141CA04
, 5F141CA05
, 5F141CA40
, 5F141CA49
, 5F141CA57
, 5F141CA64
, 5F141CA65
, 5F141CA67
, 5F141CA88
, 5F141CB36
引用特許:
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