特許
J-GLOBAL ID:201003062523006691
発光素子とその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
上田 邦生
, 藤田 考晴
, 川上 美紀
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-514606
公開番号(公開出願番号):特表2010-532560
出願日: 2008年06月17日
公開日(公表日): 2010年10月07日
要約:
発光ダイオードとその製造方法を開示する。3元系または4元系III-V族窒化物半導体発光ダイオードは、[0001]結晶軸方向に配向した基板上に、[0001]結晶軸を基準に[11-22]結晶軸の方向に40 ゚〜70 ゚傾斜した配向方向に成長して、導電性不純物がドーピングされたバッファ層;バッファ層上に形成される発光層;バッファ層の下部に形成される第1電極;及び発光層上部に形成される第2電極;を含み、発光層は、バッファ層上に形成される第1クラッド層と、第1クラッド層上に形成される活性層と、活性層上に形成される第2クラッド層とを含む。本発明の半導体発光ダイオードは、活性層に引加される応力を相殺させて、自発分極現象を防止することができ、その結果、発光効率を向上することができる。
請求項(抜粋):
[0001]結晶軸方向に配向した基板上に、[0001]結晶軸を基準に[11-22]結晶軸の方向に40 ゚〜70 ゚傾斜した配向方向に成長し、導電性不純物がドーピングされたバッファ層と、
該バッファ層上に形成された発光層と、
前記バッファ層の下部に形成された第1電極と、
前記発光層上に形成された第2電極とを含み、
前記発光層は、前記バッファ層上に形成された第1クラッド層と、該第1クラッド層上に形成される活性層と、該活性層上に形成された第2クラッド層とを含むことを特徴とする3元系または4元系III-V族窒化物半導体発光ダイオード。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (8件):
5F041AA03
, 5F041CA05
, 5F041CA23
, 5F041CA40
, 5F041CA41
, 5F041CA46
, 5F041FF01
, 5F041FF11
引用特許:
審査官引用 (2件)
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半導体発光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-025433
出願人:住友電気工業株式会社
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半導体素子およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-355696
出願人:株式会社東芝
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