特許
J-GLOBAL ID：201403083712147642

針先位置検出装置及びプローブ装置

発明者：
山田 浩史

山田 浩史 について

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鈴木 勝

鈴木 勝 について

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渡辺 哲治

渡辺 哲治 について

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川路 武司

川路 武司 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-092445
公開番号（公開出願番号）：特開2013-179329
特許番号：特許第5571224号
出願日： 2013年04月25日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検査体と複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うに当たり、上記複数のプローブの針先の位置を検出するために用いられる針先位置検出装置であって、 上記針先位置検出装置は、上記複数のプローブの針先を検出するセンサ部を備え、且つ、 上記センサ部は、センサ部本体と、上記センサ部本体に昇降可能に設けられた接触体と、上記接触体に所定の圧力を付与し、上記接触体を上記センサ部本体から所定距離だけ離間させる圧力付与手段と、を有し、 更に、上記センサ部本体は、上記圧力付与手段によって付与された上記所定の圧力で上記接触体を弾力的に支持する弾力支持機構を有し、 上記接触体上には軟質部材が装着されており、 上記圧力付与手段は、上記所定の圧力を第1の圧力と上記第1の圧力より高い第2の圧力との間で切り換えるように構成され、 上記接触体は、上記第1の圧力で保持された状態では上記複数のプローブとの接触により上記センサ部の本体側へ下降して上記複数のプローブの針先位置を検出し、上記第2の圧力で保持された状態では下降することなく上記複数のプローブの針跡が上記軟質部材に転写されるように構成されている ことを特徴とする針先位置検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  G01R 1/067 ( 200 6.01) ,  G01R 1/073 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 21/66 B ,  G01R 1/067 K ,  G01R 1/073 E
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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