特許
J-GLOBAL ID：201403088837893860
回路基板、電子ビーム発生装置、電子ビーム照射装置、電子ビーム露光装置、および製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-073603
公開番号（公開出願番号）：特開2014-197520
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月16日
要約：
【課題】複数の電子ビームで描画する画像のボケおよびゆがみ等を低減させる駆動回路。【解決手段】電子回路が設けられた回路領域と、回路領域を除いた非回路領域とをセル領域内に有し、予め定められた形状の複数のセルと、複数のセルが配列されることによって、回路領域を含まずに複数の非回路領域が隣り合って形成される加工領域と、加工領域に設けられ、複数の回路領域の間を同一基板上で電気的に絶縁する絶縁部とを備える回路基板、電子ビーム発生装置、電子ビーム照射装置、電子ビーム露光装置を提供する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
電子回路が設けられた回路領域と、前記回路領域を除いた非回路領域とをセル領域内に有し、予め定められた形状の複数のセルと、
前記複数のセルが配列されることによって、前記回路領域を含まずに複数の前記非回路領域が隣り合って形成される加工領域と、
前記加工領域に設けられ、複数の前記回路領域の間を同一基板上で電気的に絶縁する絶縁部と
を備える回路基板。
IPC (3件)：
H01J 37/305
, H01L 21/027
, G03F 7/20
H01J37/305 B
, H01L21/30 541W
, G03F7/20 504
2H097CA08
, 2H097CA16
, 2H097LA10
, 5C034BB10
, 5F056AA33
, 5F056EA02
