感光性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 中村和広 , 齋藤都子 , 三間俊介 , 塩川和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-218646
公開番号（公開出願番号）：特開2014-071374
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
要約：

【課題】高感度、高解像度といった良好なリソグラフィー性能を有し、硬化後残膜率が高く、硬化後のパターン断面形状が良好であるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部;(B)光酸発生剤1〜50質量部;及び(C)下記一般式(1)で表されるサリチル酸オリゴマー又はその混合物0.1〜10質量部を含む、ポジ型感光性樹脂組成物。(式中、R1及びR2は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜10の1価の有機基を示し;かつ、nの平均値は0以上5.0以下であるが、nの平均値が0の場合、R1及びR2は同時に水素原子になることはない)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部; (B)光酸発生剤1〜50質量部;及び (C)下記一般式(1):

IPC (5件)：

G03F 7/004 , G03F 7/023 , C08G 8/18 , C08G 73/06 , C08G 73/10

FI (6件)：

G03F7/004 501 , G03F7/023 , G03F7/023 511 , C08G8/18 , C08G73/06 , C08G73/10

Fターム (73件)：

2H125AF05P , 2H125AM10P , 2H125AM16P , 2H125AM62P , 2H125AM73P , 2H125AM75P , 2H125AM79P , 2H125AM80P , 2H125AM90P , 2H125AM99P , 2H125AN02P , 2H125AN21P , 2H125AN54P , 2H125CA12 , 2H125CA21 , 2H125CB06 , 2H125CC03 , 2H125CC21 , 4J033CA01 , 4J033CA02 , 4J033CA05 , 4J033CA10 , 4J033CA19 , 4J033CA24 , 4J033CA28 , 4J033CA29 , 4J033HA02 , 4J033HA12 , 4J033HA21 , 4J033HB10 , 4J043PA10 , 4J043PB02 , 4J043PB03 , 4J043PB04 , 4J043PB05 , 4J043PB09 , 4J043PB22 , 4J043PB23 , 4J043PC065 , 4J043PC066 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043QB34 , 4J043QB52 , 4J043RA06 , 4J043RA35 , 4J043SA06 , 4J043SA71 , 4J043TA03 , 4J043TA12 , 4J043TA22 , 4J043TA26 , 4J043TA66 , 4J043UA062 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA152 , 4J043UA632 , 4J043UA652 , 4J043UA672 , 4J043UB011 , 4J043UB021 , 4J043UB061 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB132 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB402 , 4J043XB07 , 4J043XB09 , 4J043XB37 , 4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (6件)

芳香族ヒドロキシカルボン酸樹脂およびその用途
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-204456 出願人：三井東圧化学株式会社
感光性平版印刷版の処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-284026 出願人：コニカ株式会社, 三菱化学株式会社
特開平3-210564

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