特許
J-GLOBAL ID：201403089650468100
プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
園田 吉隆
, 小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-533371
公開番号（公開出願番号）：特表2014-528606
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年10月27日
要約：
流量コントローラのインシトゥ較正のための方法および装置が本明細書で提供される。いくつかの実施形態では、ガスを流す方法は、標準ガスを使用することによって決定された計算された第1の関係に基づいて流量の第1の値で第1のガスを供給するように構成された流量コントローラを用意することと、第1のガスの流量と設定点との間の実際の第1の関係を、流量コントローラの設定点の対応する複数の値で決定された第1のガスの流量の複数の値から決定することであり、流量の複数の値の各々が、設定点の複数の値の対応する値で第1のガスを流量コントローラを通して流すことから決定される、実際の第1の関係を決定することと、実際の第1の関係に基づいて流量の第1の値で第1のガスを流すこととを含む。
請求項（抜粋）：
プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法であって、
第1の時間に前記流量コントローラの第1の流量で前記流量コントローラの第1のパラメータまたは前記プロセスチャンバの第2のパラメータの少なくとも一方の第1の値をモニタすることと、
前記第1の時間の後の第2の時間に前記流量コントローラの前記第1の流量で前記流量コントローラの前記第1のパラメータまたは前記プロセスチャンバの前記第2のパラメータの前記少なくとも一方の第2の値をモニタすることと、
前記第1の値と前記第2の値との比較から、前記流量コントローラ、または前記プロセスチャンバの構成要素の少なくとも一方の状態を決定することと
を含む、方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5H307AA01
, 5H307BB01
, 5H307DD20
, 5H307EE01
