特許

J-GLOBAL ID：201403089901063687

シリコン貫通ビアおよび相互接続フィーチャーのボトムアップ充填のための添加剤を含む金属電気めっきのための組成物

発明者： レーゲル-ゲプフェルト,コルネリア ,  アルノルト,マルコ ,  フリューゲル,アレクサンダー ,  エムネット,シャルロッテ ,  レーター,ローマン ベネディクト ,  マイヤー,ディーター
出願人/特許権者： ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア
代理人 (1件)： 江藤 聡明
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-513298
公開番号（公開出願番号）：特表2014-523477
出願日： 2012年05月31日
公開日（公表日）： 2014年09月11日
要約：

金属イオン供給源と、少なくとも1つのポリアミノアミドとを含む組成物であって、前記ポリアミノアミドが、ポリマー主鎖内でアミドおよびアミン官能基を含み、芳香族部分が、前記ポリマー主鎖に付加しているか、または前記ポリマー主鎖内に位置している組成物。

請求項（抜粋）：

金属イオン供給源と、少なくとも1つのポリアミノアミドとを含む組成物であって、 前記ポリアミノアミドが、ポリマー主鎖内にアミドおよびアミン官能基を含み、且つ少なくとも1つの芳香族部分が前記ポリマー主鎖に付加しているか、または前記ポリマー主鎖内に位置している組成物。

IPC (5件)：

C25D 3/38 ,  C25D 7/12 ,  C08G 69/26 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/28

FI (5件)：

C25D3/38 ,  C25D7/12 ,  C08G69/26 ,  H01L21/288 E ,  H01L21/28 301R

Fターム (28件)：

4J001DA01 ,  4J001DB06 ,  4J001EB08 ,  4J001EC05 ,  4J001EC77 ,  4J001EC79 ,  4J001FB03 ,  4J001FC03 ,  4J001GB02 ,  4J001GB05 ,  4J001JA07 ,  4K023AA19 ,  4K023CB14 ,  4K023DA02 ,  4K023DA03 ,  4K023DA04 ,  4K023DA07 ,  4K023DA08 ,  4K024AA09 ,  4K024BB12 ,  4K024CA01 ,  4K024CA02 ,  4M104BB04 ,  4M104DD21 ,  4M104DD43 ,  4M104DD52 ,  4M104FF21 ,  4M104HH14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 酸性電気銅めっき液及び電気銅めっき方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-301392   出願人：奥野製薬工業株式会社, 小西化学工業株式会社
• 四級化ポリアミドアミン類、その製法、対応する組成物、およびその使用
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-519137   出願人：ビーエーエスエフアクチェンゲゼルシャフト, フラウンホファーゲセルシャフトツールフェールデルンクダーアンゲヴァンテンフォルシュンクエー.ファオ.
• 平滑化剤を含む金属電気メッキのための組成物
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2012-540374   出願人：ビーエーエスエフソシエタス・ヨーロピア