特許
J-GLOBAL ID：201403090223323469
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
千葉 剛宏
, 宮寺 利幸
, 大内 秀治
, 仲宗根 康晴
, 坂井 志郎
, 山野 明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-020271
公開番号（公開出願番号）：特開2013-079986
特許番号：特許第5358743号
出願日： 2013年02月05日
公開日（公表日）： 2013年05月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検体を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段にて搬送される前記被検体の表面に所定の繰り返し明暗パターンを照射しながら前記被検体の幅方向に移動させる明暗パターン照射移動手段と、
前記被検体の前記明暗パターンが照射された部位を撮像するラインセンサと、
前記ラインセンサで撮像された信号に基づいて2次元の明暗パターン画像を生成する画像処理部と、
前記画像処理部で生成された前記明暗パターン画像に基づいて前記被検体の表面に欠陥が存在するか否かを判定する欠陥判定部と、
前記搬送手段による前記被検体の搬送、前記明暗パターン照射移動手段による前記明暗パターンの移動、及び前記ラインセンサの撮像が同時に行われるように当該搬送手段、当該明暗パターン照射移動手段、及び当該ラインセンサを制御する制御部と、を備え、
前記画像処理部で生成される前記明暗パターン画像は、明暗部が連続して傾斜した傾斜ストライプパターン画像となることを特徴とする表面検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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