特許
J-GLOBAL ID：201403090283642059

二重パイロメータ

発明者：
ハンター, エアロン, ムーア

ハンター, エアロン, ムーア について

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ラマチャンドラン, バラスブラマニアン

ラマチャンドラン, バラスブラマニアン について

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タナサ, コリナ, エレナ

タナサ, コリナ, エレナ について

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ラマヌジャム, ラジェシュ, エス.

ラマヌジャム, ラジェシュ, エス. について

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ディクシット, タルパン, ティ.

ディクシット, タルパン, ティ. について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-055787
公開番号（公開出願番号）：特開2012-156522
特許番号：特許第5503679号
出願日： 2012年03月13日
公開日（公表日）： 2012年08月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 白熱ランプを含む放射加熱源と、 前記放射加熱源と対向してウエハを支持するためのサポートと、 前記サポートの前記放射熱源とは反対の側に配設されるリフレクタプレートと、 前記リフレクタプレートにおける開口を通して光学的に結合される入力端部を有していて、上記リフレクタプレートによって支持され且つ前記ウエハに向けられた光パイプと、 前記光パイプの出力を受け、前記出力を第1のビーム及び第2のビームへと分割する光学的ビームスプリッタと、 前記第1のビームを受け取り、前記第1のビームに基づいた光電流を発生する透過型パイロメータと、 前記第2のビームをフィルタリングする狭帯域フィルタと、 フィルタリングされた前記第2のビームを受け取り、フィルタリングされた前記第2のビームに基づいた光電流を発生する放射型パイロメータと、 を備え、 前記透過型パイロメータは、前記ウエハの吸収ギャップの波長に感応するスペクトル応答を有し、前記狭帯域フィルタは、前記ウエハのバンドギャップ波長より短い光子波長での通過帯域を有する、熱処理システム。
IPC (1件)：
H01L 21/26 ( 200 6.01)
FI (1件)：
H01L 21/26 T
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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