特許
J-GLOBAL ID：201403092342811172
圧電アクチュエータ用駆動回路、圧電アクチュエータの駆動方法及び固有振動数測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
森 哲也
, 田中 秀▲てつ▼
, 廣瀬 一
, 宮坂 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-074562
公開番号（公開出願番号）：特開2014-200143
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月23日
要約：
【課題】機械系に対するセンシングシステムが無くても簡易に機械系の固有振動数の測定を行うのに好適な圧電アクチュエータ用駆動回路、圧電アクチュエータの駆動方法及び固有振動数測定装置を提供する。【解決手段】駆動回路10を、圧電アクチュエータ20と共に振動体30とカップリングした状態で駆動する構成にすると共に、圧電アクチュエータ20の端子間電圧νを微分する微分器11と、微分器11の出力をL倍に増幅する増幅器12と、端子間電圧νをR倍に増幅する増幅器13と、増幅器12及び13の出力電圧を加算する加算器14と、加算器14の出力電圧であるL(dν/dt)+Rνを、その大きさに応じた電流iに変換し、この電流iを圧電アクチュエータ20に供給するV/I変換器15とを備える構成とした。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
機械系に力を伝達する圧電アクチュエータと共に該機械系とカップリングした状態で前記圧電アクチュエータを駆動する圧電アクチュエータ用駆動回路であって、
前記圧電アクチュエータの端子間電圧νに基づき、該圧電アクチュエータに前記端子間電圧νに比例した駆動電流iを供給することを特徴とする圧電アクチュエータ用駆動回路。
IPC (4件)：
H02N 2/00
, H01L 41/04
, H01L 41/09
, H01L 41/113
H02N2/00 B
, H01L41/04
, H01L41/09
, H01L41/113
