特許
J-GLOBAL ID：201403095104521971
補償光学装置、撮像装置、補償光学装置の制御方法およびプログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-261633
公開番号（公開出願番号）：特開2014-104289
出願日： 2012年11月29日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
要約：
【課題】 適切な補正状態に達するまでの時間を短縮すること。【解決手段】 補償光学装置は、被検査物の波面収差を測定する測定部と、波面収差を補正する補正部と、測定光に対する被検査物からの戻り光を用いて、波面収差の測定を妨げる物体が被検査物と測定部との間に入り込んだこと、または、波面収差の測定を妨げる物体が被検査物と測定部との間から外れたことを検知する検知部と、物体が被検査物と測定部との間に入り込んだことが検知された場合に補正部の補正を中断し、補正の中断後に物体が被検査物と測定部との間から外れたことが検知された場合に中断した補正を再開するように補正部を制御する制御部と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検査物の波面収差を測定する測定手段と、
前記波面収差を補正する補正手段と、
測定光に対する前記被検査物からの戻り光を用いて、前記波面収差の測定を妨げる物体が前記被検査物と前記測定手段との間に入り込んだこと、または、前記波面収差の測定を妨げる物体が前記被検査物と前記測定手段との間から外れたことを検知する検知手段と、
前記物体が前記被検査物と前記測定手段との間に入り込んだことが前記検知手段により検知された場合に前記補正手段の補正を中断し、前記補正の中断後に前記物体が前記被検査物と前記測定手段との間から外れたことが前記検知手段により検知された場合に前記補正手段の前記中断した補正を再開するように前記補正手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする補償光学装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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