特許
J-GLOBAL ID：201103011780442994

補償光学系を備えた光画像の撮像方法および光画像撮像装置

発明者：
野里 宏治

野里 宏治 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-262383
公開番号（公開出願番号）：特開2011-104125
出願日： 2009年11月17日
公開日（公表日）： 2011年06月02日
要約：
【課題】撮像対象である被検査物の位置が変化した際に、適正な収差の補正量となるまでに必要とされるフィードバック制御による時間を低減させ、撮像することが可能となる光画像の撮像方法を提供する。【解決手段】被検査物に測定光を照射し、被検査物で発生する収差を補償光学系で補正し、被検査物の光画像を撮像する光画像の撮像方法であって、 被検査物で発生する収差を測定する収差測定工程と、 被検査物で発生する収差の補正を行う収差補正工程と、 収差測定工程の測定結果に基づいて、被検査物で発生する収差を補正するために収差補正工程をフィードバック制御する制御工程と、 被検査物の位置の変化を検知する検知工程と、 を備え、制御工程において、検知工程で前記被検査物の位置の変化が検知された際に、その時点における収差の補正状態を維持してフィードバック制御を中断する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
被検査物に測定光を照射し、該被検査物で発生する収差を補償光学系で補正し、該被検査物の光画像を撮像する光画像の撮像方法であって、 前記被検査物で発生する収差を測定する収差測定工程と、 前記被検査物で発生する収差の補正を行う収差補正工程と、 前記収差測定工程の測定結果に基づいて、前記被検査物で発生する収差を補正するために前記収差補正工程をフィードバック制御する制御工程と、 前記被検査物の位置の変化を検知する検知工程と、 を備え、 前記制御工程において、前記検知工程で前記被検査物の位置の変化が検知された際に、その時点における収差の補正状態を維持して前記フィードバック制御を中断することを特徴とする光画像の撮像方法。
IPC (2件)：
A61B 3/12 ,  A61B 3/14
FI (2件)：
A61B3/12 E ,  A61B3/14 K
引用特許：
審査官引用 (5件)
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