特許
J-GLOBAL ID：201403096578440200

プラズマエッチングチャンバ用のTCCTマッチング回路

発明者：
マオリン・ロング

マオリン・ロング について

, 
リッキー・マーシュ

リッキー・マーシュ について

, 
アレックス・パターソン

アレックス・パターソン について


出願人/特許権者：
ラム リサーチ コーポレーション

ラム リサーチ コーポレーション について


代理人 (2件)： 特許業務法人明成国際特許事務所 ,  下出 隆史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-218772
公開番号（公開出願番号）：特開2014-089957
出願日： 2013年10月22日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
要約：
【課題】プラズマエッチングチャンバのためのTCCTマッチング回路の改良方法を提供する。【解決手段】マッチング回路が、RF源に結合された電力入力回路と、電力入力回路と内側コイルの入力端子との間に結合された内側コイル入力回路とを含み、内側コイル入力回路が、インダクタと、インダクタに直列に結合されたコンデンサとを含み、インダクタが、電力入力回路に接続し、コンデンサが、内側コイルの入力端子に接続し、第1のノードが、電力入力回路と内側コイル入力回路との間に画定され、内側コイルの出力端子と接地点との間に結合された内側コイル出力回路であって、接地への直接のパススルー接続を画定する内側コイル出力回路と、第1のノードと外側コイルの入力端子との間に結合された外側コイル入力回路と、外側コイルの出力端子と接地点との間に結合された外側コイル出力回路とを含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
RF源とプラズマチャンバの間に結合されたマッチング回路であって、 RF源に結合された電力入力回路と、 前記電力入力回路と内側コイルの入力端子との間に結合された内側コイル入力回路とを備え、前記内側コイル入力回路が、インダクタと、前記インダクタに直列に結合されたコンデンサとを含み、前記インダクタが、前記電力入力回路に接続し、前記コンデンサが、前記内側コイルの前記入力端子に接続し、第1のノードが、前記電力入力回路と前記内側コイル入力回路との間に画定され、 前記内側コイルの出力端子と接地点との間に結合された内側コイル出力回路であって、接地への直接のパススルー接続を画定する内側コイル出力回路と、 前記第1のノードと外側コイルの入力端子との間に結合された外側コイル入力回路と、 前記外側コイルの出力端子と接地点との間に結合された外側コイル出力回路と を備えるマッチング回路。
IPC (2件)：
H05H 1/46 ,  H01L 21/306
FI (3件)：
H05H1/46 R ,  H01L21/302 101C ,  H05H1/46 L
Fターム (3件)：
5F004AA01 ,  5F004BA20 ,  5F004CA03
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM